[發明專利]鈷靶材的加工方法無效
| 申請號： | 201110456456.5 | 申請日： | 2011-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN102554569A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;陳玉蓉 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B23P15/00 | 分類號： | B23P15/00;B24B19/00;B24B55/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈷靶材 加工 方法 | ||
1.一種鈷靶材的加工方法，其特征在于，包括：
提供鈷靶材；
對所述鈷靶材表面進行切削；
對切削后的鈷靶材表面進行磨削，所述磨削采用金剛石砂輪或立方氮化硼砂輪，所述金剛石砂輪的砂輪線速為15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂輪的砂輪線速為20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量為0.005～1毫米。
2.如權利要求1所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，還包括在磨削過程中采用噴霧方式冷卻。
3.如權利要求2所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，所述噴霧為酒精。
4.如權利要求1所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，采用PCBN刀具對所述鈷靶材表面進行切削，所述PCBN刀具轉速范圍為250～300轉/秒，進給量為0.03～0.08毫米/轉，背吃刀量為0.01～0.05毫米。
5.如權利要求4所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，所述PCBN刀具中CBN的含量為80％。
6.如權利要求4所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，采用所述PCBN刀具對所述鈷靶材表面進行切削時，采用全周夾具固定所述鈷靶材。
7.如權利要求4所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，所述PCBN刀具的參數為：前角g0范圍為0～10°，后角a0范圍為8～10°，主偏角kr范圍為45～75°，刀尖修圓半徑re范圍為0.4～0.6mm。
8.如權利要求1所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，所述提供的鈷靶材是焊接在背板上的。
9.如權利要求8所述的鈷靶材的加工方法，其特征在于，還包括：在將所述鈷靶材焊接在背板上之后，對所述鈷靶材表面進行切削之前，對所述鈷靶材進行彎曲度校正、半精加工。
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