[發(fā)明專利]一種光伏玻璃鍍膜制程腔氣體導(dǎo)入裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110455950.X
• 申請(qǐng)日: 2011-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN103184418A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光伏玻璃鍍膜制程腔氣體導(dǎo)入裝置，主要包含：一反應(yīng)制程腔體、一氣體導(dǎo)引管路、一導(dǎo)引管路框架所組成，通過外接入之氣體透過氣體導(dǎo)引管所設(shè)置的氣體導(dǎo)入接頭進(jìn)入，氣體導(dǎo)引管路上設(shè)有依照氣體導(dǎo)入管路長(zhǎng)度分布平均的小孔作為氣體噴出口，形成一側(cè)邊向下噴出的動(dòng)作，導(dǎo)引管路框架支撐氣體導(dǎo)引管路，使其能水平置放于導(dǎo)引管路框架上，使得制成氣體能有效集中于反應(yīng)區(qū)，完成一種光伏玻璃鍍膜制程腔氣體導(dǎo)入裝置，藉此，可達(dá)到有效均勻分布?xì)怏w于鍍膜制程腔內(nèi)部，完成均勻分布之電漿粒子內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種光伏玻璃鍍膜制程腔氣體導(dǎo)入裝置，其中該氣體導(dǎo)引柱設(shè)有一個(gè)以上的氣體引入接頭，該氣體引入接頭系將氣體引入至反應(yīng)腔體內(nèi)部，形成電漿粒子。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種光伏玻璃鍍膜制程腔氣體導(dǎo)入裝置，其中氣體導(dǎo)引管路上設(shè)有間距50mm的小孔，孔徑?05mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種光伏玻璃鍍膜制程腔氣體導(dǎo)入裝置，其中導(dǎo)引管路框架固定氣體導(dǎo)引管路水平于導(dǎo)引管路框架。