[發(fā)明專利]一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環(huán)冷卻裝置

無效

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• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184417A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請（專利權(quán)）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環(huán)冷卻裝置，具體涉及一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環(huán)冷卻裝置，特別是指一種能散除真空濺鍍靶極工作熱能，以確保靶極運作正常。?

背景技術(shù)

光伏玻璃濺鍍靶極主要作為濺鍍豈止的來源，是以物理氣象沈積方式運作，其工作原理既在真空腔室通入高壓電源以解離腔室內(nèi)工作氣體，同時以濺鍍靶極為陰極，解離后的工作氣體中含有正離子及電子，正離子在高壓電場的作用下會被加速沖向陰極的靶極，轟擊靶極上的濺鍍原材料，使材料以原子方式飛濺在對象的光伏玻璃表面上，形成薄膜。是以，此過程會在靶極上產(chǎn)生極高的熱能，需要將廢熱適時的散除，否則靶極會因為溫度過高產(chǎn)生極大的副作用，甚至無法工作。而目前作普遍的作法是，在靶極上通入連接整個系統(tǒng)的冷卻水回路，眾所周知地，此類方式所常面臨耗水量大、水壓及水溫?zé)o法獨立控制等問題。?

發(fā)明內(nèi)容

綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環(huán)冷卻裝置，包含一循環(huán)系統(tǒng)單元、一連接該循環(huán)系統(tǒng)單元且包括一冰水進(jìn)水單元、及一設(shè)置于冰水進(jìn)水單元及循環(huán)系統(tǒng)單元的溫控閥進(jìn)水系統(tǒng)單元。該冰水進(jìn)水單元為廠務(wù)端進(jìn)水系統(tǒng)，水溫保持在10~15℃，且一用以將冷卻水輸出往循環(huán)系統(tǒng)、一旁路連接管路及一供已經(jīng)回流之冷卻水。溫控閥進(jìn)水單元未動作時，循環(huán)系統(tǒng)以自循環(huán)方式循環(huán)管內(nèi)的冷卻水至濺鍍靶極，可獨立控制循環(huán)至濺鍍靶極的水流及水壓，當(dāng)溫控閥進(jìn)水單元動作時，閥門打開，冷卻水進(jìn)水單元的冷卻水進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)單元快速冷卻靶極溫度，待溫度下降后，閥門既關(guān)閉，循環(huán)系統(tǒng)回到先前狀態(tài)，循環(huán)管內(nèi)冷卻水至靶極，藉此，整體濺鍍靶極可獨立控制溫度，熱交換效率佳，且達(dá)到省水功效。????????

本發(fā)明之功效在于，利用該循環(huán)系統(tǒng)單元、該冷卻水進(jìn)水系統(tǒng)單元與該溫控閥進(jìn)水單元等相配合，達(dá)到熱能交換，水壓及水溫控制等功效。

第一圖系為本發(fā)明一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環(huán)冷卻裝置示意圖，主要組件符號說明：1．．．循環(huán)汞浦2．．．濺鍍靶極3．．．自循環(huán)進(jìn)水管4．．．自循環(huán)出水管5．．．溫控單元?

6．．．自循環(huán)出水管溫度傳感器7．．．自循環(huán)進(jìn)水管溫度傳感器8．．．冷卻水進(jìn)水閥9．．．自循環(huán)旁路管路。

具體實施方式

????下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。?

請參閱第一圖所示，一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環(huán)冷卻裝置，是屬于密閉式循環(huán)系統(tǒng)，其包括循環(huán)汞浦1、濺鍍靶極2、自循環(huán)進(jìn)水管3、自循環(huán)出水管4、溫控單元5、自循環(huán)出水管溫度傳感器6、自循環(huán)進(jìn)水管溫度傳感器7、冷卻水進(jìn)水閥8及自循環(huán)旁路管路9所組成，該冰水進(jìn)水單元為廠務(wù)端進(jìn)水系統(tǒng)，保持在10~15℃，且一用以將冷卻水輸出往循環(huán)系統(tǒng)，具體作用是：循環(huán)汞浦1將循環(huán)水從自循環(huán)進(jìn)水管3將循環(huán)水輸入至濺鍍靶極2，在從自循環(huán)出水管路4回至循環(huán)汞浦1，如此不斷循環(huán)以將濺鍍靶極2的工作熱能散除，同時設(shè)有旁路管9以消除多馀水壓卻保管內(nèi)壓力保一穩(wěn)定。該溫控閥進(jìn)水單元5是用以偵測管內(nèi)水溫，當(dāng)自循環(huán)出水管溫度傳感器6讀值未超過設(shè)定值時，整個系統(tǒng)處于密閉式循環(huán)，當(dāng)自循環(huán)出水管溫度傳感器6溫度超過設(shè)定值時，溫控閥進(jìn)水單元5動作，同時打開外部冷卻水進(jìn)水閥8，此舉，將外部冷卻冰水引入密閉式循環(huán)中，以快速冷卻循環(huán)系統(tǒng)中來自濺鍍靶極2的熱能，循環(huán)系統(tǒng)以自循環(huán)方式循環(huán)管內(nèi)的冷卻水至濺鍍靶極2，可獨立控制循環(huán)至濺鍍靶極2的水流及水壓，當(dāng)溫控閥進(jìn)水單元5動作時，冷卻水進(jìn)水閥門8打開，冷卻水進(jìn)水單元的冷卻水進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)單元快速冷卻靶極溫度，待溫度下降后，冷卻水進(jìn)水閥門9關(guān)閉，循環(huán)系統(tǒng)回到先前狀態(tài)，循環(huán)管內(nèi)冷卻水至靶極。?

????以上所述實例是對本發(fā)明技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的修改，只要未超出本發(fā)明技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。?