[發明專利]一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環冷卻裝置

無效

• 申請號: 201110455947.8
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103184417A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 周文彬;劉幼海;劉吉人
• 申請（專利權）人: 吉富新能源科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環冷卻裝置，包含一循環系統單元、一連接該循環系統單元且包括一冰水進水單元、及一設置于冰水進水單元及循環系統單元的溫控閥進水系統單元，該冰水進水單元為廠務端進水系統，水溫保持在10~15℃，且一用以將冷卻水輸出往循環系統、一旁路連接管路及一供已經回流之冷卻水；溫控閥進水單元未動作時，循環系統以自循環方式循環管內的冷卻水至濺鍍靶極，可獨立控制循環至濺鍍靶極的水流及水壓，當溫控閥進水單元動作時，閥門打開，冷卻水進水單元的冷卻水進入循環系統單元快速冷卻靶極溫度，待溫度下降后，閥門既關閉，循環系統回到先前狀態，循環管內冷卻水至靶極，藉此，整體濺鍍靶極可獨立控制溫度，熱交換效率佳，且達到省水功效。

2.根據權利要求1所述之一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環冷卻裝置，其特徵在溫控閥進水單元于進水口及出水口設置溫度傳感器。

3.根據權利要求1所述之一種光伏玻璃濺鍍靶極自循環冷卻裝置，該循環系統單元包括一循環汞浦。