[發明專利]一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法

有效

• 申請號: 201110455362.6
• 申請日: 2011-12-21
• 公開（公告）號: CN102538716A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 崔杰;弋建魚
• 申請（專利權）人: 西安北方捷瑞光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27
• 代理公司: 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217
• 代理人: 陳翠蘭

技術領域

本發明型涉及測量技術領域，特別涉及一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測。?

背景技術

現行的加工技術中關于小口徑、大曲率球面光學元件沒有一個比較實用的辦法，在實際的檢測過程中存在著一定的弊端：測量成本高、測量難度大、不利于生產現場的批量快速檢測。?

發明內容

本發明的目的是提供一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法，該方法測量成本低、測量易實現、利于生產現場的批量快速檢測。?

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：?

一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法，包括以下步驟：?

1)將標準平面放置于帶讀數測量的位移裝置上，同時將該帶讀數測量的位移裝置置于顯微鏡或放大鏡下；?

2)利用定位工裝將待測工件的球心垂直于標準平面，且待測工件球面與標準平面靠緊，通過顯微鏡或放大鏡觀測待測工件球面與標準平面兩接觸表面間形成清晰的牛頓環；?

3)通過顯微鏡或放大鏡從牛頓環的投影方向觀測牛頓環并將牛頓環暗環中心位置；?

4)利用帶讀數測量的位移裝置測量牛頓環暗環中心原點到待測工件基準面的距離，得到待測工件球心到標準平面的偏心量。?

所述步驟2)中，利用所述定位工裝將待測工件的球心垂直于標準平面，具體定位如下：?

a)利用至少2個定位塊：定位塊I和定位塊Ⅱ同時從與待測工件球心垂直的兩個相鄰面固定待測工件；?

b)調整定位塊I和定位塊Ⅱ與待測工件接觸的表面和標準平面形成的角度，使得待測工件與定位塊I和定位塊Ⅱ接觸的表面和標準平面形成的角度互補，兩定位塊相鄰表面形成的角度與待測件與兩定位塊接觸面形成的角度互補。?

所述兩個相鄰面固定待測工件的固定方式為采取光膠或采取其他粘接劑。?

所述顯微鏡或放大鏡放大倍數為20-50倍。?

與現有技術相比，本發明具有以下優點：本發明提供一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法，該方法測量成本低、測量易實現、利于生產現場的批量快速檢測，該檢測方法的精度取決與觀測時的放大倍數與帶讀數測量的位移裝置的精度。?

附圖說明

圖1是本發明工件偏心檢測定位方式示意圖。?

圖2圖1的俯視圖。

圖3是顯微鏡CCD拍攝的牛頓環。?

圖中：1、定位塊I；2、待測工件；3、定位塊Ⅱ；4、標準平面；5、帶讀數測量的位移裝置；6、顯微鏡或放大鏡。?

具體實施方式

下面結合附圖對本發明做進一步詳細描述。?

實施例1?

1)將標準平面4放置于帶讀數測量的位移裝置5上，同時將該帶讀數測量的位移裝置5置于顯微鏡或放大鏡6下，參見圖1、圖2所示；?

2)利用定位工裝將待測工件2的球心垂直于標準平面4，且待測工件2球面與標準平面4靠緊，通過顯微鏡或放大鏡6觀測(放大倍數為20倍)待測工件2球面與標準平面4兩接觸表面間形成清晰的牛頓環，參見圖3所示；?

具體定位步驟如下：?

a)利用至少2個定位塊：定位塊I?1和定位塊Ⅱ3同時從與待測工件2球心垂直的兩個相鄰面固定待測工件2；?

b)調整定位塊I?1和定位塊Ⅱ3與待測工件2接觸的表面和標準平面4形成的角度，使得待測工件2與定位塊I?1和定位塊Ⅱ3接觸的表面和標準平面形成的角度互補，兩定位塊相鄰表面形成的角度與待測件與兩定位塊接觸面形成的角度互補，角度精度將對測量精度產生較大影響；?

3)通過顯微鏡或放大鏡6從牛頓環的投影方向觀測牛頓環并將牛頓環暗環中心位置；?

4)利用帶讀數測量的位移裝置5測量牛頓環暗環中心原點到待測工件2基準面的距離，得到待測工件2球心到標準平面4的偏心量。?

本實施例中，兩個相鄰面固定待測工件2的固定方式為采取光膠方式。?

實施例2?

1)將標準平面4放置于帶讀數測量的位移裝置5上，同時將該帶讀數測量的位移裝置5置于顯微鏡或放大鏡6下；?

2)利用定位工裝將待測工件2的球心垂直于標準平面4，且待測工件2?球面與標準平面4靠緊，通過顯微鏡或放大鏡6觀測(放大倍數為50倍)待測工件2球面與標準平面4兩接觸表面間形成清晰的牛頓環；?

具體定位步驟如下：?

a)利用至少2個定位塊：定位塊I?1和定位塊Ⅱ3同時從與待測工件2球心垂直的兩個相鄰面固定待測工件2；?