[發明專利]一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法有效
| 申請號: | 201110455362.6 | 申請日: | 2011-12-21 |
| 公開(公告)號: | CN102538716A | 公開(公告)日: | 2012-07-04 |
| 發明(設計)人: | 崔杰;弋建魚 | 申請(專利權)人: | 西安北方捷瑞光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/27 | 分類號: | G01B11/27 |
| 代理公司: | 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217 | 代理人: | 陳翠蘭 |
| 地址: | 710075 陜西省*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 小口徑 曲率 球面 光學 元件 偏心 檢測 方法 | ||
1.一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法,其特征在于包括以下步驟:
1)將標準平面(4)放置于帶讀數測量的位移裝置(5)上,同時將該帶讀數測量的位移裝置(5)置于顯微鏡或放大鏡(6)下;
2)利用定位工裝將待測工件(2)的球心垂直于標準平面(4),且待測工件(2)球面與標準平面(4)靠緊,通過顯微鏡或放大鏡(6)觀測待測工件(2)球面與標準平面(4)兩接觸表面間形成清晰的牛頓環;
3)通過顯微鏡或放大鏡(6)從牛頓環的投影方向觀測牛頓環并將牛頓環暗環中心位置;
4)利用帶讀數測量的位移裝置(5)測量牛頓環暗環中心原點到待測工件(2)基準面的距離,得到待測工件(2)球心到標準平面(4)的偏心量。
2.根據權利要求1所述的一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法,其特征在于所述步驟2)中,利用所述定位工裝將待測工件(2)的球心垂直于標準平面(4),具體定位如下:
a)利用至少2個定位塊:定位塊I(1)和定位塊Ⅱ(3)同時從與待測工件(2)球心垂直的兩個相鄰面固定待測工件(2);
b)調整定位塊I(1)和定位塊Ⅱ(3)與待測工件(2)接觸的表面和標準平面(4)形成的角度,使得待測工件(2)與定位塊I(1)和定位塊Ⅱ(3)接觸的表面和標準平面形成的角度互補,兩定位塊相鄰表面形成的角度與待測件與兩定位塊接觸面形成的角度互補。
3.根據權利要求2所述的一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法,其特征在于所述兩個相鄰面固定待測工件(2)的固定方式為采取光膠或采取其他粘接劑。
4.根據權利要求1所述的一種小口徑、大曲率球面光學元件的偏心檢測方法,其特征在于所述顯微鏡或放大鏡放大倍數為20-50倍。
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