[發(fā)明專利]一種中心布線雙圈排列IC芯片堆疊封裝件及其生產(chǎn)方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110455052.4 | 申請(qǐng)日: | 2011-12-31 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102522383A | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-06-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 朱文輝;郭小偉;慕蔚;李習(xí)周 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 天水華天科技股份有限公司;華天科技(西安)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/49 | 分類號(hào): | H01L23/49;H01L23/495;H01L23/498;H01L21/48;H01L21/50 |
| 代理公司: | 甘肅省知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)中心 62100 | 代理人: | 鮮林 |
| 地址: | 741000 甘*** | 國(guó)省代碼: | 甘肅;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 中心 布線 排列 ic 芯片 堆疊 封裝 及其 生產(chǎn) 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電子信息自動(dòng)化元器件制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種中心布線雙圈排列IC芯片堆疊封裝件,本發(fā)明還包括該封裝件的生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)
長(zhǎng)期以來(lái),受蝕刻模板及蝕刻工藝技術(shù)的限制,QFN產(chǎn)品一直延續(xù)著90年代開(kāi)發(fā)出來(lái)的單圈引線框架模式。QFN封裝經(jīng)過(guò)近幾年的發(fā)展,特別是2006年以來(lái),市場(chǎng)需求增加,推動(dòng)了QFN封裝技術(shù)的快速發(fā)展,材料配套技術(shù)、制造工藝技術(shù)和封裝應(yīng)用技術(shù)都有了突破性的進(jìn)展,實(shí)現(xiàn)雙圈QFN產(chǎn)品成為可能。QFN(Quad?Flat?No?Lead?Package)?型雙圈排列封裝的集成電路封裝技術(shù)是近幾年國(guó)外發(fā)展起來(lái)的一種新型微小形高密度封裝技術(shù),是最先進(jìn)的表面貼裝封裝技術(shù)之一。目前,普通四邊扁平無(wú)引腳封裝(QFN)單面封裝時(shí)引腳數(shù)少、焊線長(zhǎng)、造成焊線成本高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是在已有的較為成熟的QFN集成電路封裝技術(shù)和單圈扁平的無(wú)引腳封裝技術(shù)的基礎(chǔ)上,吸取BGA用中心布線環(huán)設(shè)計(jì)制作特點(diǎn),提供一種把中心布線環(huán)和雙圈排列凸點(diǎn)巧妙結(jié)合的中心布線雙圈排列IC芯片堆疊封裝件,?本發(fā)明的另一目的是提供一種上述封裝件的制備方法。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題采用如下技術(shù)方案:
一種中心布線雙圈排列IC芯片堆疊封裝件,包括引線框架載體、框架引線內(nèi)引腳、IC芯片、鍵合線及塑封體,所述引線框架載體上粘接第一IC芯片,所述第一IC芯片上堆疊有第二IC芯片,所述第一IC芯片外側(cè)設(shè)有中心布線環(huán),所述中心布線環(huán)的外部設(shè)有兩圈內(nèi)引腳,分別為第一內(nèi)引腳和第二內(nèi)引腳,所述兩圈內(nèi)引腳之間正面腐蝕出深度為引線框架厚度的1/2的第一凹坑,第一內(nèi)引腳和第二內(nèi)引腳底部腐蝕出深度為引線框架厚度的1/2的第二凹坑,所述中心布線環(huán)上設(shè)有內(nèi)圈焊盤和外圈焊盤兩圈焊盤,所述內(nèi)圈焊盤分別與第一IC芯片和第二IC芯片的焊盤打線,所述外圈焊盤分別與第一內(nèi)引腳和第二內(nèi)引腳打線。
所述第一IC芯片與第二IC芯片打線連接形成第五鍵合線,所述第一IC芯片與中心布線環(huán)的內(nèi)圈焊盤打線連接形成第一鍵合線和第二鍵合線;所述第二IC芯片與中心布線環(huán)的內(nèi)圈焊盤打線連接形成第六鍵合線和第七鍵合線;所述外圈焊盤打線后拉弧在第一內(nèi)引腳上形成第三鍵合線和第八鍵合線,打線后拉弧在第二內(nèi)引腳上形成第四鍵合線和第九鍵合線。
所述中心布線環(huán)鑲嵌或粘貼在引線框架載體上,所述內(nèi)圈焊盤和外圈焊盤之間通過(guò)中心布線環(huán)相通。
所述一種中心布線雙圈排列IC芯片堆疊封裝件的制備工藝流程為減薄、劃片、上芯、壓焊、塑封、后固化、打印、分離引腳、電鍍、產(chǎn)品分離、外觀檢驗(yàn)、包裝,其中除壓焊、電鍍工序以外,其它工序均采用相關(guān)封裝形式的常規(guī)方法,所述工藝過(guò)程為:
步驟1?減薄、劃片
采用相關(guān)封裝形式的常規(guī)方法進(jìn)行;
步驟2?上芯
a、雙芯片堆疊一次上芯
當(dāng)?shù)谝籌C芯片的各邊長(zhǎng)度比第二IC芯片的各邊長(zhǎng)度大于1.2mm時(shí),堆疊封裝的第一IC芯片和第二IC芯片采用一次分別上芯,一次烘烤;
b、雙芯片堆疊二次上芯
當(dāng)?shù)谝籌C芯片的各邊長(zhǎng)度比第二IC芯片的各邊長(zhǎng)度小于1.2mm時(shí),堆疊封裝的第一IC芯片和第二IC芯片采用二次上芯分別烘烤;
所述步驟b雙芯片堆疊二次上芯,當(dāng)使用絕緣膠二次上芯時(shí),在第一IC芯片正面先點(diǎn)上第二粘片膠絕緣膠,再將第二IC芯片吸附粘在第二粘片膠上面,粘完第二芯片后,將上芯好的半成品引線框架送烘烤,在150℃下烘烤3小時(shí)烤;
所述步驟b雙芯片堆疊二次上芯,當(dāng)使用膠膜片二次上芯時(shí),使用具有膠膜片上芯功能的設(shè)備,劃片前在第二IC芯片的背面貼上膠膜片,先固定好第二IC芯片的晶圓,襯底加熱120℃~150℃,將帶膠膜片的第二IC芯片吸附,放在第一IC芯片正面,粘完第二IC芯片后,上芯的引線框架半成品在150℃下烘烤3小時(shí)。
步驟3壓焊
堆疊封裝二次上芯壓焊材料也是金線和銅線,第二IC芯片上的焊盤既與第一IC芯片進(jìn)行焊線,又與中心布線環(huán)的內(nèi)焊盤組間壓焊,中心布線環(huán)的外焊盤組既與第一內(nèi)引腳間打線,又與外圈第二內(nèi)引腳間打線,要選擇正打、反打,多種線弧形式,防止線與線間短路;
步驟4?塑封、后固化、打印
采用相關(guān)封裝形式的常規(guī)方法對(duì)壓焊后形成的器件進(jìn)行塑封、后固化、打印;
步驟5分離引腳
a?磨削法分離,將打印完的半成品框架底部先進(jìn)行腐蝕,引線框架背面腐蝕掉0.045mm~0.065mm,然后進(jìn)行磨削,拋光厚度為0.065mm~0.045mm;
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