[發(fā)明專利]一種卸載電池硅片的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110450976.5
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN103187347A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱磊;張祥富
• 申請（專利權(quán)）人: 浚鑫科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B65G47/91
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種卸載電池硅片的方法，其特征在于，該方法包括：

a、利用吸附裝置吸真空對各組電池硅片進行吸附，其中，每組電池硅片中包括兩片電池硅片；

b、將機械手插入所述各組電池硅片的空隙中，并使其對遠離所述吸附裝置的第一片電池硅片進行吸附，取出第一片電池硅片；

c、將機械手插入所述各組電池硅片中剩余的第二片電池硅片的兩邊空隙中；

d、所述吸附裝置釋放真空，所述機械手對所述第二片電池硅片進行吸附，取出第二片電池硅片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述吸附裝置釋放真空的同時所述機械手對第二片電池硅片進行吸附。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，利用吸附裝置吸真空對各組電池硅片進行吸附前還包括：

將所述吸附裝置移動到預(yù)定位置，并利用硅片升降臺將多組電池硅片頂起。