[發明專利]用于設計用于真空環境的線性電機的系統和方法

有效

• 申請號: 201110450010.1
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN102594084A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: E·佐丹
• 申請（專利權）人: ASML控股股份有限公司
• 主分類號: H02K41/02
• 分類號: H02K41/02;H02K15/00;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳敬蓮

技術領域

本發明總體涉及光刻技術，更具體地涉及用于真空環境的線性電機。

背景技術

光刻技術被廣泛認為是制造集成電路(IC)以及其他器件和/或結構的關鍵工藝。光刻設備是一種在光刻過程中將所需圖案應用到襯底上，例如應用到襯底的目標部分上的機器。在使用光刻設備制造集成電路期間，通常可以將可選地稱為掩模或掩模版的圖案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉移到襯底(例如，硅晶片)上的目標部分(例如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。通常，通過將圖案成像到輻射敏感材料上將所述圖案轉移至提供到襯底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。通常襯底可以包括被連續地圖案化的相鄰的目標部分的網絡。

線性電機與用于保持例如圖案形成裝置(例如掩?；蜓谀０?、晶片等的裝置一起使用，以便移動沿X、Y和Z方向移動圖案形成裝置和/或晶片。線性XY電機可以包括扁平電線圈，其在由X和Y磁性電路產生的高通量區域內對齊。扁平電線圈夾在不銹鋼水冷卻殼罩之間。外冷卻殼罩被釬焊和焊接至整個線圈殼體，由此形成密封的線圈包殼。在組裝線性電機中重要的層是灌注復合物層，其(1)機械地將線圈連接至冷卻板和殼體；(2)將線圈的熱傳遞至冷卻板；和(3)是用于線圈熱膨脹的順應性層。這些功能對于電機的運行是至關重要的。尤其地，灌注復合物的更厚的層對于順應性更好，但是對于熱傳導性不利，而灌注復合物的薄層有利于熱傳導，但是對于順應性不利。

線圈和冷卻板之間的灌注復合物的層的厚度受到電機的所有其他部件的尺寸變化的影響。該層從機械和熱的方面看是重要的，并且變化的范圍使得所制造的電機的相當大的部分將不滿足熱要求或將具有可靠性問題。

電機殼體的焊接引入附加的問題。下部冷卻板至殼體的焊接是最終制造步驟之一(因為電機組裝的方式)。作為最終制造步驟之一的下部冷卻板至殼體的焊接可能會導致燒毀電絕緣，并因此導致電機將不是真空密封的。如果由于任何原因焊接失效，則整個組裝的電機將會損失而不可能回收任何部件。

現有技術電機的另一缺點是子部件的可測試性非常受限。一些重要的性能，例如熱阻和機械結合強度，僅可以在電機制造過程結束時檢測和測試。

發明內容

發明人已經確定，存在一個窄的灌注復合物層的厚度范圍，其對于需要嚴密控制的熱行為和機械行為兩者是優選的?？紤]到前面的內容，需要的是提供改進的用于真空環境的線性電機的方法和系統，使得可以確定地優化電機的電線圈和其冷卻板之間的距離并且電機的不同部件可以獨立地組裝和測試。

在本發明的一個實施例中，提供一種用于真空環境的線性電機，包括芯部和殼體。芯部包括多個冷卻板和夾在多個冷卻板之間的多個電線圈。芯部還包括定位在多個電線圈和多個冷卻板之間的多個導熱環氧樹脂層，和設置在多個電線圈和多個冷卻板之間以確定在多個電線圈和多個冷卻板之間的距離的多個墊片。獨立地并且在組裝到殼體內之前組裝和測試芯部。殼體包圍芯部，并且包括主體、多個饋通結構和蓋。

在本發明的另一實施例中，提供一種用于制造電機的方法。該方法包括組裝芯部和將芯部插入殼體內部的步驟。組裝芯部的方法包括將多個電線圈定位在多個冷卻板之間和將多個導熱環氧樹脂層定位在多個電線圈和多個冷卻板之間。此外，組裝芯部的方法包括：在多個電線圈和多個冷卻板之間定位多個墊片以確定多個電線圈和多個冷卻板之間的距離；和固化多個導熱環氧樹脂層。芯部配置成在被插入到殼體內之前被測試。

本發明的其他特征和優點以及本發明不同實施例的結構和操作將在下文中參照附圖進行描述。本發明不限于這里所描述的具體實施例。在這里給出的這些實施例僅是示例性用途?；谶@里包含的教導，另外的實施例對本領域技術人員將是顯而易見的。

附圖說明

這里附圖并入說明書并且形成說明書的一部分，其示出本發明并且與說明書一起進一步用來說明本發明的原理，以允許本領域技術人員能夠實施和使用本發明。

圖1A示意地示出了根據本發明一個實施例的反射型光刻設備；

圖1B示意地示出了根據本發明一個實施例的透射型光刻設備；

圖2示意地示出根據本發明一個實施例的掩模版支持系統；

圖3A-3D示出常規的XY電機組件；

圖4A-4C示出根據本發明一個實施例的XY電機的改進的組件示意圖。

圖5A-5C示出根據本發明一個實施例的XY電機組件的芯部的制造；

圖6A-6C示出根據本發明一個實施例的XY電機組件的芯部的總體結構；