[發明專利]用于設計用于真空環境的線性電機的系統和方法

有效

• 申請號: 201110450010.1
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN102594084A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: E·佐丹
• 申請（專利權）人: ASML控股股份有限公司
• 主分類號: H02K41/02
• 分類號: H02K41/02;H02K15/00;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳敬蓮

1.一種系統，包括：

芯部，包括：

多個冷卻板；

多個電線圈，夾在所述多個冷卻板之間；

多個導熱環氧樹脂層，位于所述多個電線圈和所述多個冷卻板之間；和

多個墊片，設置在所述多個電線圈和所述多個冷卻板之間以確定所述多個電線圈和所述多個冷卻板之間的距離，

其中芯部配置成在與殼體組裝之前進行測試；和

殼體，配置成包圍芯部，所述殼體包括主體、多個饋通結構以及蓋。

2.如權利要求1所述的系統，其中芯部還包括：

多個卡普頓層，設置在所述多個導熱環氧樹脂層和所述多個冷卻板之間。

3.如權利要求2所述的系統，其中多個卡普頓層被使用多個熱硬化環氧樹脂膠層機械地連接至多個冷卻板。

4.如權利要求1所述的系統，其中芯部還包括多個傳感器。

5.如權利要求4所述的系統，其中多個傳感器還包括：

多個溫度傳感器，配置成測量芯部的溫度；和

多個安全傳感器，配置成如果芯部的溫度超過閾值則停止所述系統的操作。

6.如權利要求1所述的系統，其中多個電線圈包括至少一個X線圈和至少一個Y線圈，X線圈和Y線圈中的每一個包括上部結構和下部結構。

7.如權利要求1所述的系統，還包括：

多個膠層，設置在殼體和芯部之間；和

填充件，設置在殼體內部且在芯部和蓋之間。

8.如權利要求1所述的系統，其中：

多個膠層，設置在殼體和芯部之間，所述多個膠層是機械牢固的環氧樹脂層。

9.如權利要求1所述的系統，其中殼體的多個饋通結構包括用于芯部的水管連接件和電線的饋通結構，并且所述多個饋通結構是密封的。

10.如權利要求1所述的系統，其中多個冷卻板還包括：

釬焊在一起的多個不銹鋼板；和

多個冷卻通路。

11.如權利要求1所述的系統，其中在多個電線圈和多個冷卻板之間的距離在多個電線圈和多個冷卻板之間的不同位置處是不同的。

12.一種用于制造電機的方法，包括下列步驟：

組裝芯部，包括：

將多個電線圈定位在多個冷卻板之間；

將多個導熱環氧樹脂層定位在多個電線圈和多個冷卻板之間；

將多個墊片定位在多個電線圈和多個冷卻板之間以確定在多個電線圈和多個冷卻板之間的距離；

固化多個導熱環氧樹脂層；和

將芯部插入到殼體內部，

其中芯部配置成在被插入到殼體內之前被測試。

13.如權利要求12所述的方法，其中組裝芯部的步驟還包括：

將多個卡普頓層定位在多個導熱環氧樹脂層和多個冷卻板之間。

14.如權利要求13所述的方法，其中使用多個熱硬化環氧樹脂膠層將多個卡普頓層機械地連接至多個冷卻板。

15.一種光刻設備，包括：

照射系統，用于提供輻射束；

支撐結構，用于支撐圖案形成裝置，所述圖案形成裝置用以在輻射束的橫截面上將圖案賦予輻射束；

襯底臺，用于保持襯底；

投影系統，用于將圖案化輻射束投影到襯底的目標部分上；和

電機，所述電機包括：

芯部，所述芯部包括：

多個冷卻板；

多個電線圈，夾在所述多個冷卻板之間；

多個導熱環氧樹脂層，位于所述多個電線圈和所述多個冷卻板之間；和

多個墊片，設置在所述多個電線圈和所述多個冷卻板之間以確定所述多個電線圈和所述多個冷卻板之間的距離，

其中芯部配置成在與殼體組裝之前進行測試；和

殼體，配置成包圍芯部，所述殼體包括主體、多個饋通結構以及蓋。