[發(fā)明專利]外觀檢驗裝置及其執(zhí)行方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110449954.7
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN103185729A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭竹嵐
• 申請（專利權(quán)）人: 百勵科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94;G01N21/898
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測裝置，具體而言是一種外觀檢驗(Final?Visual?Inspection,?FVI)裝置及其執(zhí)行方法。

背景技術(shù)

早期集成電路表面瑕疵都是采用人工檢測，借由使用高倍數(shù)顯微鏡進(jìn)行人工目測檢查，然而人工檢測的速度慢，作業(yè)人員的素質(zhì)參差不齊容易漏檢，造成誤檢率高，而且某些瑕疵很難用人工檢出，使得人工檢測的方式效率不佳。

為了改善上述人工檢測的缺點，業(yè)界發(fā)展出采用機(jī)器檢測的方式。請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有外觀檢驗裝置的方塊圖。該外觀檢驗裝置主要包括二取像單元100、102、二影像分析單元110、112、一馬達(dá)120、一輸送單元130以及一可程序邏輯控制器(Programmable?Logic?Controller,?PLC)140。

取像單元100、102分別擷取待測集成電路150、152的表面影像，所擷取的表面影像分別傳送至影像分析單元110、112，影像分析單元110、112分別分析所擷取的表面影像而完成待測集成電路150、152的表面瑕疵檢測后，會進(jìn)行雙向溝通確認(rèn)彼此是否完成檢測，在確認(rèn)彼此都完成檢測后，由影像分析單元110告知可程序邏輯控制器140完成檢測，然后可程序邏輯控制器140傳送一控制訊號至馬達(dá)120，馬達(dá)120根據(jù)所述控制訊號驅(qū)動輸送單元130沿著箭頭方向移動，使待測集成電路150、152離開取像單元100、102的拍攝范圍，再由待測集成電路154、156、158、160依序進(jìn)入取像單元100、102的拍攝范圍重復(fù)上述檢測步驟。

然而上述機(jī)器檢測的步驟中，取像單元100、102確認(rèn)彼此是否完成檢測時需作雙向非同時通訊，因此耗費較多時間，加上影像分析單元110告知可程序邏輯控制器140完成檢測也需要通訊時間，造成檢測過程中需要較長的通訊時間，使該外觀檢驗裝置的效率不佳。

因此需要提出方法來解決上述現(xiàn)有外觀檢驗裝置通訊時間過久導(dǎo)致效率不佳的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的第一目的在于提供一種能縮短檢測時間的外觀檢驗裝置及其執(zhí)行方法。

根據(jù)本發(fā)明一實施例，所述外觀檢驗裝置包括數(shù)個取像單元、一光源、一同步單元、一影像分析判斷單元、一馬達(dá)以及一輸送單元。所述取像單元分別擷取數(shù)個待測集成電路的表面影像。所述光源用于提供所述取像單元擷取所述待測集成電路的表面影像時所需的光線。所述同步單元使所述取像單元所擷取的表面影像同步傳送至所述影像分析判斷單元，所述影像分析判斷單元根據(jù)所擷取的表面影像判斷所述待測集成電路的表面是否有瑕疵。所述馬達(dá)接收所述影像分析判斷單元所傳送的控制訊號，并根據(jù)所述控制訊號驅(qū)動所述輸送單元移動。

根據(jù)本發(fā)明另一實施例，在所述外觀檢驗裝置的執(zhí)行方法中，所述外觀檢驗裝置包括數(shù)個取像單元、一同步單元、一影像分析判斷單元、一馬達(dá)以及一輸送單元，所述執(zhí)行方法包括：所述取像單元分別擷取數(shù)個待測集成電路的表面影像；所述同步單元使所述取像單元所擷取的表面影像同步傳送至所述影像分析判斷單元；所述影像分析判斷單元根據(jù)所擷取的表面影像判斷所述待測集成電路的表面是否有瑕疵；以及所述馬達(dá)接收所述影像分析判斷單元所傳送的控制訊號，并根據(jù)所述控制訊號驅(qū)動所述輸送單元移動。

本發(fā)明的外觀檢驗裝置及其執(zhí)行方法能使取像單元所擷取的表面影像同步傳送至影像分析判斷單元，借此縮短檢測時間。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有外觀檢驗裝置的方塊圖；

圖2是本發(fā)明外觀檢驗裝置的方塊圖；

圖3是圖2中輸送單元的一實施例；以及

圖4是本發(fā)明外觀檢驗裝置的執(zhí)行方法流程圖。

其中：

100、102、200、202?????????????取像單元

110、112????????????????????????????????????影像分析單元

120、220?????????????????????????????????馬達(dá)

130、230?????????????????????????????????輸送單元

140???????????????????????????????????????????可程序邏輯控制器

150、152、154、156、158、160、250、252、254、256、

258、260?????????????????????????????????待測集成電路