[發明專利]外觀檢驗裝置及其執行方法

無效

• 申請號: 201110449954.7
• 申請日: 2011-12-29
• 公開（公告）號: CN103185729A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 鄭竹嵐
• 申請（專利權）人: 百勵科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94;G01N21/898
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.?一種外觀檢驗裝置，其特征在于，包括：

數個取像單元，分別擷取數個待測集成電路的表面影像；

一光源，用于提供所述取像單元擷取所述待測集成電路的表面影像時所需的光線；

一同步單元；

一影像分析判斷單元，所述同步單元使所述取像單元所擷取的表面影像同步傳送至所述影像分析判斷單元，所述影像分析判斷單元根據所擷取的表面影像判斷所述待測集成電路的表面是否有瑕疵；

一馬達；以及

一輸送單元，所述馬達接收所述影像分析判斷單元所傳送的控制訊號并根據所述控制訊號驅動所述輸送單元移動。

2.?如權利要求1所述的外觀檢驗裝置，其特征在于，所述等取像單元為電荷耦合組件。

3.?如權利要求1所述的外觀檢驗裝置，其特征在于，所述光源選自鹵素燈、氙燈、熒光燈及發光二極管燈所構成群組中的一種。

4.?如權利要求1所述的外觀檢驗裝置，其特征在于，所述影像分析判斷單元儲存一待測集成電路參考影像，借由分析及比對所述取像單元所擷取的表面影像是否與待測集成電路參考影像相同，判斷所述等待測集成電路表面是否破損。

5.?如權利要求1所述的外觀檢驗裝置，其特征在于，所述影像分析判斷單元借由分析所述取像單元所擷取的表面影像的灰階值，判斷所述待測集成電路表面的文字或標志是否正確、或是否有微塵粒子。

6.?一種外觀檢驗裝置的執行方法，所述外觀檢驗裝置包括數個取像單元、一同步單元、一影像分析判斷單元、一馬達以及一輸送單元，其特征在于，所述執行方法包括：

所述取像單元分別擷取數個待測集成電路的表面影像；

所述同步單元使所述取像單元所擷取的表面影像同步傳送至所述影像分析判斷單元；

所述影像分析判斷單元根據所擷取的表面影像判斷所述待測集成電路的表面是否有瑕疵；以及

所述馬達接收所述影像分析判斷單元所傳送的控制訊號，并根據所述控制訊號驅動所述輸送單元移動。

7.?如權利要求6所述的外觀檢驗裝置的執行方法，其特征在于，所述等取像單元為電荷耦合組件。

8.?如權利要求6所述的外觀檢驗裝置的執行方法，其特征在于，所述影像分析判斷單元儲存一待測集成電路參考影像，借由分析及比對所述取像單元所擷取的表面影像是否與待測集成電路參考影像相同，判斷所述待測集成電路表面是否破損。

9.?如權利要求6所述的外觀檢驗裝置的執行方法，其特征在于，所述影像分析判斷單元借由分析所述取像單元所擷取的表面影像的灰階值，判斷所述等待測集成電路表面的文字或標志是否正確、或是否有微塵粒子。