[發明專利]一種硅片切割設備狀態監測裝置無效
| 申請號： | 201110448214.1 | 申請日： | 2011-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN103182752A | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | B28D7/00 | 分類號： | B28D7/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212211 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 切割 設備 狀態 監測 裝置 | ||
1.一種硅片切割設備狀態監測裝置，其特征在于，包括：
信號采集單元：用于實時采集硅片切割設備狀態監測裝置的各種狀態和參數；
模塊選擇單元：用于控制信號采集單元與主控單元的信號傳遞路徑；
主控單元：用于對信號處理電路的輸出信號進行分析處理和故障診斷。
2.如權利要求1所述的硅片切割設備狀態監測裝置，其特征在于，還包括用于監測裝置與用戶之間信息交互的人機交互單元、電源模塊。
3.如權利要求2所述的硅片切割設備狀態監測裝置，其特征在于，人機交互單元為分別與主控單元相連接的按鍵電路和顯示模塊。
4.如權利要求1所述的硅片切割設備狀態監測裝置，其特征在于，還包括：與主控單元相連接的存儲單元，用于存儲采集的信號和數據，連接主控單元和上位機的雙向通信接口。
5.如權利要求1所述的硅片切割設備狀態監測裝置，其特征在于，所述信號采集單元有兩個，信號采集單元一為機械振動信號采集單元：用于對被監測硅片切割設備的振動狀態進行實時監測；信號采集單元二為參數信號采集單元：用于對被監測風電設備的相關機械參數及其相關工作環境參數進行實時監測；
所述機械振動信號采集單元的工作過程為：由ICP振動傳感器對硅片切割設備工作時的振動加速度進行采樣，經有源濾波及信號放大電路調理后，送給模塊選擇單元；
所述參數信號采集單元的工作過程為：由溫度傳感器對硅片切割設備的溫度進行采樣，經過放大調整電路與主控單元連接。
6.如權利要求1所述的硅片切割設備狀態監測裝置，其特征在于，所述模塊選擇單元還包括積分電路，由模塊選擇單元控制信號采集單元采集的振動信號是否經過積分電路進行處理。
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