[發(fā)明專利]十二邊形氧化鋅微米棒的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110443761.0
• 申請日: 2011-12-27
• 公開（公告）號: CN102515251A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設計）人: 徐春祥;戴俊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: C01G9/02
• 分類號: C01G9/02;B82Y40/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種十二邊形氧化鋅微米棒的制備方法，其特征在于該制備方法具體如下：

第一步：切割襯底晶面取向為(100)的表面拋光硅片襯底，利用超聲對硅片襯底表面清潔；

第二步：配制濃度均為0.02mol/L～0.05mol/L的二水醋酸鋅溶液和六次甲基四胺溶液，按體積比1∶1將二水醋酸鋅溶液和六次甲基四胺溶液混合后注入特氟龍高壓反應釜內(nèi)；

第三步：將第一步中清洗好的硅片襯底置入充滿溶液的反應釜中，保持硅片襯底拋光面朝下；密封高壓反應釜，而后將高壓反應釜置入溫度設置為85℃～90℃的烘箱內(nèi)，反應時間設置為4至6小時；反應結(jié)束后取出硅片襯底，利用去離子水反復沖洗該樣品以去除氧化鋅微米棒及硅片表面殘留的反應溶液，隨后將該樣品置入90℃的烘箱內(nèi)，烘干10分鐘，以去除表面殘留的去離子水；

第四步：將純度均為99.99％的氧化鋅粉末和碳粉末按摩爾比1∶1混合后充分研磨填入陶瓷舟內(nèi)；將裝有反應源材料的陶瓷舟放置于試管底部，將第三部處理好的樣品置于試管中距離陶瓷舟20cm處；將試管推入管式爐中，通過控溫系統(tǒng)使陶瓷舟位于850℃～950℃溫度區(qū)，使樣品襯底位于稍低溫度650℃～700℃處；

第五步：完成第四步后，在管式爐中通入5～10sccm氧氣和85～100sccm氬氣，接通管式爐真空系統(tǒng)，保持管式爐中氣壓為10～15Pa；

第六步：反應20～30分鐘后，關閉真空系統(tǒng)，停止通入氧氣和氬氣后，打開管式爐，從中直接取出樣品襯底后對樣品進行表征，即可發(fā)現(xiàn)原先的六邊形氧化鋅微米棒轉(zhuǎn)變?yōu)槭呅挝⒚装簟?/p>