[發明專利]MEMS熱式流量傳感器無效
| 申請號： | 201110443149.3 | 申請日： | 2011-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN102620780A | 公開（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發明（設計）人： | 張小水;劉建鋼;王書潛;祁明鋒 | 申請（專利權）人： | 鄭州煒盛電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01F1/684 | 分類號： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 黃軍委 |
| 地址： | 450001 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 流量傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種MEMS熱式流量傳感器，其特征在于：它包括MEMS熱式流量感測芯片和流體通道，所述流體通道的內壁設置有凹槽，所述MEMS熱式流量感測芯片安裝在所述凹槽內，所述MEMS熱式流量感測芯片的敏感面與所述流體通道的內壁表面平齊。
2.根據權利要求1所述的MEMS熱式流量傳感器，其特征在于：所述流體通道具有凹槽的一側內壁是平面內壁。
3.根據權利要求2所述的MEMS熱式流量傳感器，其特征在于：所述流體通道是內壁光滑且橫截面呈方形的管道。
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