[發明專利]太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法

無效

• 申請號: 201110436114.7
• 申請日: 2011-12-23
• 公開（公告）號: CN103171246A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;楊志龍;趙錄軍
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: B41C1/14
• 分類號: B41C1/14;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1:前處理

取一塊待蝕刻的不銹鋼鋼片，對其進行除油、除銹的前處理；

S2:貼干膜

在步驟S1所得的不銹鋼鋼片上均勻涂布一種感光干膜；

S3:曝光

將基板固定在曝光機曝光室內，通過紫外線對基板上干膜進行曝光，以將太陽能電池的電極印刷網板的圖形轉移到感光干膜上面；

S4:顯影

對曝光后的基板進行顯影、清洗以及烘干工序，將未曝光處干膜溶解清洗掉，留下太陽能電池的電極網板圖形；

S5:蝕刻

將經過顯影處理后的鋼片進行蝕刻，將需要開口的地方蝕刻掉。

2.如權利要求1所述的太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于：所述步驟S2還包括：

干膜通過壓膜機壓貼在不銹鋼片上，壓膜時通過壓膜機提供一定的壓力及溫度，使得干膜緊貼于不銹鋼片表面，整體構成基板；其中，所述感光干膜為負性感光干膜。

3.如權利要求1或2所述的太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于：在所述步驟S3中，進行曝光的區域為太陽能電池電極印刷掩膜板的掩模部位圖形，即掩膜板非開口區域。

4.如權利要求3所述的太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于：所述步驟S4包括：

將曝光后的基板放入顯影機，在顯影室內經顯影液噴淋顯影處理，顯影完畢后經顯影機后段暖水清洗段、溢流水洗段、烘干工序處理。

5.如權利要求4所述的太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于：所述步驟S5包括：

將顯影處理后的基板放入蝕刻機，蝕刻機內蝕刻液是采用酸性蝕刻液，在蝕刻室內，將蝕刻液通過噴淋的方式對鋼片進行蝕刻，蝕刻完畢后，將不銹鋼片經水洗烘干。

6.如權利要求5所述的太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于：蝕刻時間根據不銹鋼鋼片的厚度、蝕刻液的濃度、溫度以及蝕刻液的噴淋壓力的相關參數而作定。

7.如權利要求6所述的太陽能硅電池電極印刷網板的制作方法，其特征在于：所述不銹鋼片的表面要求光滑平整，所述蝕刻液為一定濃度的FeCl3溶液，根據需要可往其中加入適量的HCl。

8.根據權利要求1所述的方法制成的太陽能硅電池電極印刷網板，其特征在于：印刷網板主柵線為交叉絲網形，主體寬度為1mm—2.5mm；細柵線是以橋連的方式連接，主體寬度為35um—100um。