[發明專利]研磨裝置

有效

• 申請號: 201110435008.7
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102554758A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 丸山直剛;渡邊逸郎;伊藤泰則;生田康成
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/34
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王凝;陸錦華

技術領域

本發明涉及一種研磨裝置。

背景技術

圖11及圖12表示專利文獻1所述的現有的研磨裝置。如圖11所示，該研磨裝置130具有研磨部件支撐機構(以下稱為RCC機構(遠中心柔順結構))134及轉矩傳遞單元(旋轉傳遞機構)136。

RCC機構134具有4個層積橡膠部件137。層積橡膠部件137的下端部隔90°的間隔固定到圓錐臺138的圓周面上，圓錐臺138形成在研磨板(研磨部件)140的表面。

如圖12所示，該層積橡膠部件137、137……以一定的傾角朝上方配置，各自的上端部安裝在支撐板143(旋轉傳遞部件)上。這樣一來，研磨板140借助層積橡膠部件137、137……連接到支撐板143。此時，4個層積橡膠部件137的延長線在研磨板140的中心軸線上的虛擬中心D點交叉，虛擬中心D位于研磨板140的研磨面的略靠下方。

層積橡膠部件137雖省略了圖示，但通過多個金屬板在層積橡膠部件137的軸方向上隔開微小間隔埋設到圓柱狀形成的橡膠內而形成。并且如圖12所示，在該圓柱狀形成的層積橡膠部件137的兩端部分別形成安裝部137C、137D，安裝部137C、137D固定到支撐板143、研磨板140上。

該層積橡膠部件137相對于垂直負荷的變形量非常小，當圖12所示的推壓力P作用于支撐板143時，推壓力P通過4個層積橡膠部件137傳遞到研磨板140。并且，層積橡膠部件137相對于水平負荷的變形量大，研磨板140中產生摩擦反作用力F₁時，將研磨板140退避向上方，防止研磨板140的粘著。這樣一來，防止玻璃板142中產生研磨不均，均勻地研磨玻璃板142。

如圖11所示，轉矩傳遞單元136具有矩形的筐體146，在形成筐體146的左右邊，在中央形成安裝部146A、146A。并且，在形成筐體146的上下邊，在中央形成安裝部146B、146B。在安裝部146A上固定層積橡膠部件148、148的一端，層積橡膠部件148、148的另一端固定在U字塊150的端部。此時，層積橡膠部件148、148配置在同軸上。并且，U字塊150、150固定到研磨板140上。

安裝部146B上固定有層積橡膠部件149、149的一端，層積橡膠部件149、149的另一端固定到U字塊152的端部。此時，層積橡膠部件149、149配置在同軸上，U字塊152的上表面152A固定到支撐板143。因此，例如當支撐板143公轉時，支撐板143的旋轉力經由U字塊152、152傳遞到層積橡膠部件149、149。

此時，旋轉力作用于層積橡膠部件149、149的軸線方向，因此傳遞到層積橡膠部件149、149的旋轉力通過安裝部146B、146B及筐體146傳遞到安裝部146A、146A。傳遞到安裝部146A、146A的旋轉力作用于層積橡膠部件148、148的軸線方向，通過層積橡膠部件148、148及U字塊150、150傳遞到研磨板140。這樣一來，在旋轉力作用于支撐板143的情況下，研磨板140也追隨支撐板143并移動，阻止研磨板140的扭轉運動。

專利文獻1：日本特開平9-57615號公報

發明內容

在上述現有技術的使用了研磨部件的旋轉傳遞機構具有2對層積橡膠部件148、148及149、149的單元的構成中，當研磨對稱物(被加工部件)大型化時，只能對應研磨對象物的尺寸，使上述單元本身大型化。

但是，直接使上述單元大型化時，難以使圓筒狀的層積橡膠部件的端面不磨損、或層積橡膠部件不繞其中心軸旋轉地組裝制作，研磨部件的旋轉傳遞機構的耐久性有問題，存在難以大型化的問題。

本發明鑒于這一情況而出現，其目的在于提供一種在由層積橡膠部件構成的傳遞轉矩的研磨部件的旋轉傳遞機構中，減少層積橡膠破損的問題，并可對應裝置大型化的層積橡膠部件的安裝構造的研磨裝置。

為實現上述目的，本發明提供一種研磨裝置，將研磨部件支撐為能夠相對于被加工部件的加工面搖擺，在將上述研磨部件推壓到上述被加工部件的狀態下，使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相對運動，研磨上述被加工部件的加工面，該研磨裝置具有：旋轉傳遞部件，將來自旋轉驅動源的轉矩傳遞到上述研磨部件；以及旋轉傳遞機構，具有層積橡膠部件，該層積橡膠部件以施加壓力的方式夾在設置于上述旋轉傳遞部件的第一安裝部件與設置于上述研磨部件的第二安裝部件之間，傳遞上述旋轉傳遞部件的轉矩，并且追隨上述研磨部件的搖擺運動而變形。