[發明專利]研磨裝置

有效

• 申請號: 201110435008.7
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102554758A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 丸山直剛;渡邊逸郎;伊藤泰則;生田康成
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/34
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王凝;陸錦華

1.一種研磨裝置，將研磨部件支撐為能夠相對于被加工部件的加工面搖擺，在將上述研磨部件推壓到上述被加工部件的狀態下，使上述研磨部件向和上述被加工部件的加工面水平的方向相對運動，研磨上述被加工部件的加工面，該研磨裝置具有：

旋轉傳遞部件，將來自旋轉驅動源的轉矩傳遞到上述研磨部件；以及

旋轉傳遞機構，具有層積橡膠部件，該層積橡膠部件以施加壓力的方式夾在設置于上述旋轉傳遞部件的第一安裝部件與設置于上述研磨部件的第二安裝部件之間，傳遞上述旋轉傳遞部件的轉矩，并且追隨上述研磨部件的搖擺運動而變形。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置，其中，

上述旋轉傳遞機構的上述層積橡膠部件的安裝到上述第一安裝部件與第二安裝部件之間前的自然長度大于上述第一安裝部件與第二安裝部件之間的長度。

3.根據權利要求1或2所述的研磨裝置，其中，

在上述旋轉傳遞機構的上述層積橡膠部件和上述第一安裝部件之間及上述層積橡膠部件和上述第二安裝部件之間的至少任意一方中，設有防止上述層積橡膠部件繞其中心軸旋轉的旋轉防止單元。

4.根據權利要求3所述的研磨裝置，其中，

上述旋轉傳遞機構的上述旋轉防止單元是與上述層積橡膠部件的端面和上述第一安裝部件之間及上述層積橡膠部件和第二安裝部件之間的至少任意一方卡合的兩根銷。

5.根據權利要求1～4的任意一項所述的研磨裝置，其中，

在和被加工部件的任意大小對應的上述研磨部件與上述旋轉傳遞部件之間，對應上述研磨部件的大小配置預定的多個上述旋轉傳遞機構。

6.根據權利要求1～5的任意一項所述的研磨裝置，其中，

所述研磨裝置具有將上述旋轉傳遞部件的轉矩傳遞到上述研磨部件的上述層積橡膠部件，并且具有多個流體彈簧，該流體彈簧用于在研磨時，將推壓上述被加工部件的推壓力從上述旋轉傳遞部件施加到上述研磨部件，該多個流體彈簧在上述旋轉傳遞部件和上述研磨部件之間被配置在使對于上述被加工部件的推壓力變得均勻的位置上。