[發明專利]一種新型電容屏傳感器制作方法

無效

• 申請號: 201110433479.4
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102541380A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 吳海燕;潘興修
• 申請（專利權）人: 南京點面光電有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

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技術領域：

本發明涉及顯示器件中電容觸摸屏傳感器制作方法的技術領域。

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背景技術：

通常將非電學量變換成電學量的元件稱為變換器；根據不同非電學量的特點設計成的有關轉換裝置稱為傳感器，而被測的力學量（如位移、力、速度等）轉換成電容變化的傳感器稱為電容傳感器。

電容傳感器中應用最多、最廣的為感應電容式傳感器。傳統的感應電容式傳感器的制作方法是用印刷的方式來制作傳感器，首先將大片的銦錫氧化物菲林大片裁切基材到需要的尺寸，預烘以保證基材的伸縮率在規定范圍內；然后絲印保護膠：并經過UV固化、預烘后用耐酸油墨絲印出傳感器模片，耐酸油墨保護住的部分為需要的部分；經過再次UV固化后將印刷耐酸的銦錫氧化物菲林經過酸液蝕刻，脫膜（除去油墨層）、清洗制作出傳感器模片；然后絲印銀漿導線、固化，得到所需的電容屏傳感器，轉下一個工序。

傳統的電容屏傳感器制作方法絲印線寬最小為0.2mm，并且印刷線條周圍解像度不高，容易存在溢膠、鋸齒等。在環境性耐性試驗（高溫儲存試驗、低溫儲存試驗、冷熱沖擊試驗、鹽霧試驗）過程中，線條邊緣會存在擴散情況，導致觸摸屏的一致性變差，從而影響功能。

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發明內容

本發明的目的是提供一種電容屏傳感器像解性高，線條邊緣整齊并且線寬、間距誤差小，可靠性和一致性好的電容屏傳感器制作方法。??

一種電容屏傳感器制作方法，包括如下步驟：

第一步：裁切基材，預烘以保證基材的伸縮率在規定的范圍內；

第二步：對銦錫氧化物菲林上光阻，得到帶貼合感光層的銦錫氧化物菲林；

第三步：將上述第二步的帶貼合感光層的銦錫氧化物菲林貼合mask經過紫外線曝光、Na₂CO₃顯影、酸性蝕刻制作出傳感器的模片圖形；

第四步：根據銦錫氧化物圖形進行絲印銀漿走線，固化后得到電容屏傳感器。

?上述第二步和第三步所述感光層為貼合干膜或絲印/涂覆感光濕膜。

本發明利用光化學圖像轉移原理將照相底片的圖形轉移到銦錫氧化物菲林上來制作傳感器模片，比起傳統的制作方法，大大簡化了制作的步驟。在銦錫氧化物菲林上上感光層，貼合面膜后通過光照曝光、顯影、蝕刻制作傳感器模片；制作的傳感器模片像解性很高，線條邊緣整齊并且線寬、間距一般能做到±0.05mm；制作得到的傳感器可靠性和一致性非常好。

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附圖說明

圖1是本發明的制作方法示意圖。

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具體實施方式

下面結合附圖對本發明的技術方案進行詳細說明：

一種電容屏傳感器制作方法，包括如下步驟：

第一步：裁切基材，預烘以保證基材的伸縮率在規定的范圍內；

第二步：對銦錫氧化物菲林上光阻，得到帶貼合感光層的銦錫氧化物菲林；

第三步：將上述第二步的帶貼合感光層的銦錫氧化物菲林貼合mask經過紫外線曝光、Na₂CO₃顯影、酸性蝕刻制作出傳感器的模片圖形；

第四步：根據銦錫氧化物圖形進行絲印銀漿走線，固化后得到電容屏傳感器。

上述第二步和第三步所述感光層為貼合干膜或絲印/涂覆感光濕膜。