[發(fā)明專利]一種新型電容屏傳感器制作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110433479.4
• 申請日: 2011-12-22
• 公開（公告）號: CN102541380A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳海燕;潘興修
• 申請（專利權(quán)）人: 南京點面光電有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

1.一種電容屏傳感器制作方法，其特征在于包括如下步驟：

第一步：裁切基材，預(yù)烘以保證基材的伸縮率在規(guī)定的范圍內(nèi)；

第二步：對銦錫氧化物菲林上光阻，得到帶貼合感光層的銦錫氧化物菲林；

第三步：將上述第二步的帶貼合感光層的銦錫氧化物菲林貼合mask經(jīng)過紫外線曝光、Na₂CO₃顯影、酸性蝕刻制作出傳感器的模片圖形；

第四步：根據(jù)銦錫氧化物圖形進行絲印銀漿走線，固化后得到電容屏傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容屏傳感器制作方法，其特征在于上述第二步和第三步所述感光層為貼合干膜或絲印/涂覆感光濕膜。