[發(fā)明專(zhuān)利]一種薄膜晶體管基板及其制造方法和液晶顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110433181.3
• 申請(qǐng)日: 2011-12-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102543892A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王俊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/84
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1368;G02F1/1335
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 何青瓦;丁建春

1.一種薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，包括：

依序在基體上沉積介電層、第一金屬層以及第一半導(dǎo)體層；

利用半曝光技術(shù)在所述第一半導(dǎo)體層上形成厚薄不一的第一光阻層；

移除未被所述第一光阻層遮蓋的介電層、第一金屬層以及第一半導(dǎo)體層，并且使對(duì)應(yīng)所述第一光阻層較薄區(qū)域的介電層的表面曝露。

移除所述第一光阻層，并且依序在所述基體上覆蓋第二半導(dǎo)體層、第一保護(hù)層、第二金屬層，所述第二金屬層用于形成薄膜晶體管和柵極線(xiàn)；

在所述第二金屬層上對(duì)應(yīng)所述薄膜晶體管和柵極線(xiàn)的位置形成第二光阻層；

除一側(cè)介電層外，移除掉所述基體上未被第二光阻層遮蓋的所有層體；

移除所述第二光阻層，并在所述基體上覆蓋第二保護(hù)層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：

所述利用半曝光技術(shù)在第一半導(dǎo)體層上形成厚薄不一的第一光阻層步驟包括：

利用半曝光技術(shù)在第一半導(dǎo)體層上形成間隔設(shè)置的第一區(qū)域的第一光阻層和第二區(qū)域的第一光阻層，其中第二區(qū)域的第一光阻層厚薄不一。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于：

所述移除未被第一光阻層遮蓋的介電層、第一金屬層以及第一半導(dǎo)體層的步驟包括：

刻蝕掉未被所述第一區(qū)域、第二區(qū)域的第一光阻層遮蓋的介電層、第一金屬層以及第一半導(dǎo)體層；

進(jìn)行灰化制程，直至移除位于所述第二區(qū)域的第一光阻層的較薄區(qū)域；

依次進(jìn)行干法刻蝕和濕法刻蝕，移除所述第二區(qū)域的未被第一光阻層遮蓋的第一金屬層和第一半導(dǎo)體層，暴露出相應(yīng)的部分介電層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：

所述除一側(cè)介電層外，移除掉所述基體上未被第二光阻層遮蓋區(qū)域的所有層體的步驟包括：

除一側(cè)介電層外，依次經(jīng)過(guò)濕法刻蝕和干式刻蝕移除掉所述基體上未被第二光阻層遮蓋區(qū)域的所有層體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：

所述介電層是氧化銦錫玻璃層，所述第一半導(dǎo)體層是摻入n+雜質(zhì)的非晶硅層，所述第二半導(dǎo)體層是非晶硅層，所述第一保護(hù)層和第二保護(hù)層均是氮化硅層。

6.一種薄膜晶體管基板，其特征在于，包括：

介電層，設(shè)置于基體上，包含第一區(qū)域介電層和第二區(qū)域介電層，所述第一區(qū)域介電層和所述第二區(qū)域介電層之間設(shè)置一信道；

第一金屬層，設(shè)置于所述介電層上；

第一半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述第二金屬層上；

第二半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述第一半導(dǎo)體層和信道上；

第一保護(hù)層，設(shè)置于所述第二半導(dǎo)體層上；

第二金屬層，設(shè)置于所述第二半導(dǎo)體層上；

第二保護(hù)層，覆蓋所述第二金屬層以及第二金屬層之外的基體表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板，其特征在于：

所述介電層是氧化銦錫玻璃層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板，其特征在于：

所述第一半導(dǎo)體層是摻入n+雜質(zhì)的非晶硅層，所述第二半導(dǎo)體層是非晶硅層。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板，其特征在于：

所述第一保護(hù)層和第二保護(hù)層均是氮化硅層。

10.一種液晶顯示裝置，包括平行間隔設(shè)置的彩色濾光片基板和薄膜晶體管基板，其特征在于，所述薄膜晶體管基板包括：

基體；

介電層，設(shè)置于基體的鄰近彩色濾光片基板的表面上，包含第一區(qū)域介電層和第二區(qū)域介電層，所述第一區(qū)域介電層和所述第二區(qū)域介電層之間設(shè)置一信道；

第一金屬層，設(shè)置于所述介電層上；

第一半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述第二金屬層上；

第二半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述第一半導(dǎo)體層和信道上；

第一保護(hù)層，設(shè)置于所述第二半導(dǎo)體層上；

第二金屬層，設(shè)置于所述第二半導(dǎo)體層上；

第二保護(hù)層，覆蓋所述第二金屬層以及第二金屬層之外的基體表面。