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[發明專利]一種鈰基拋光液殘留物的清洗方法有效

專利信息
申請號: 201110430321.1 申請日: 2011-12-15
公開(公告)號: CN102517594A 公開(公告)日: 2012-06-27
發明(設計)人: 馬瑾;郭云飛;張艷 申請(專利權)人: 西安北方捷瑞光電科技有限公司
主分類號: C23G1/02 分類號: C23G1/02
代理公司: 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217 代理人: 陳翠蘭
地址: 710075 陜西省*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 拋光 殘留物 清洗 方法
【權利要求書】:

1.一種鈰基拋光液殘留物的清洗方法,包括以下步驟:

1)采用體積比為HNO3∶H2O2∶H2O=1∶1∶1的酸性溶液清洗零件表面殘留的鈰基拋光粉;

2)用純水噴淋的方式清洗從步驟1)中取出的零件,清洗5min;

3)量取純水600ml,稱取乙二胺四乙酸8g和氫氧化鈉3.5-4g,并完全溶解于所述600ml純水中;

4)取步驟3)中已經配制好的溶液稀釋至2-5倍純水中,放置電爐上煮沸;

5)將步驟2)中洗好的零件放入步驟4)的溶液中煮沸;

6)用純水噴淋的方式清洗從步驟5)中取出的零件,清洗5min,即完成鈰基拋光液殘留物的清洗。

2.如權利要求1所述一種鈰基拋光液殘留物的新型清洗方法,其特征在于:步驟1)中所述酸性溶液清洗的時間為1-1.5h。

3.如權利要求1所述一種鈰基拋光液殘留物的新型清洗方法,其特征在于:步驟2)中所述純水的溫度為40-50℃。

4.如權利要求1所述一種鈰基拋光液殘留物的新型清洗方法,其特征在于:步驟4)中所述溶液煮沸時間為3-5min。

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