[發明專利]一種應用外層半自動曝光機制作內層芯板的方法有效
| 申請號： | 201110426959.8 | 申請日： | 2011-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN102497738A | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發明（設計）人： | 黃賢權 | 申請（專利權）人： | 景旺電子（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市君勝知識產權代理事務所 44268 | 代理人： | 劉文求;楊宏 |
| 地址： | 518102 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用 外層 半自動 曝光 機制 內層 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種應用外層半自動曝光機制作內層芯板的方法，其特征在于，包括以下步驟：
S01、在A面菲林上設置第一菲林靶位，在B面菲林上設置與該第一菲林靶位適配的第二菲林靶位；
S02、將A面菲林裝貼于上玻璃、B面菲林裝貼于下玻璃，并將內層芯板置于上玻璃及下玻璃之間；
S03、CCD監控第一菲林靶位與第二菲林靶位的對位偏差，完成A面菲林及B面菲林的裝貼；
S04、外層半自動曝光機對內層芯板進行曝光、顯影、蝕刻及退膜，完成內層芯板的制作。。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一菲林靶位為圓形。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二菲林靶位為圓環形。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述A面菲林上設置有4個第一菲林靶位，所述B面菲林上設置有與4個與第一菲林靶位適配的第二菲林靶位。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一菲林靶位設置在A面菲林的四角，所述第二菲林靶位適配設置在B面菲林的四角。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述外層半自動曝光機的光源波長為320~400nm。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述外層半自動曝光機的光源為平行光或散射光。
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