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[發(fā)明專利]用于再生氫傳感器的方法和裝置無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201110425258.2 申請(qǐng)日: 2011-12-16
公開(公告)號(hào): CN102565166A 公開(公告)日: 2012-07-11
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: K·帕特爾;D·皮埃爾讓 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 阿迪森真空產(chǎn)品公司
主分類號(hào): G01N27/414 分類號(hào): G01N27/414;B01J23/96
代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247 代理人: 楊曉光;于靜
地址: 法國(guó)*** 國(guó)省代碼: 法國(guó);FR
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 再生 傳感器 方法 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于再生氫傳感器的方法,所述傳感器包括柵極被鈀催化劑覆蓋的MOS型晶體管并被置入具有低于5000Pa的壓力的腔內(nèi),在檢測(cè)到泄漏后,通過電子電路向所述晶體管的所述柵極施加電壓,從而再生所述催化劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中將所述電壓以脈沖模式施加到所述晶體管的所述柵極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法,其中將所述晶體管加熱到100℃和250℃之間的溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2的方法,其中所述電子電路包括用于進(jìn)行“測(cè)量”模式與“再生”模式的互相轉(zhuǎn)換的開關(guān)。

5.一種用于實(shí)施再生氫傳感器的方法的檢漏模塊,包括:

氫傳感器,包括MOS型晶體管,所述晶體管的柵極被鈀催化劑覆蓋,以及

再生裝置,包括:

電子電路,包括:

低頻DC發(fā)生器,

開關(guān),安置在所述低頻DC發(fā)生器和所述MOS型晶體管的所述柵極之間,在所述開關(guān)閉合時(shí),所述開關(guān)用于向所述晶體管的所述柵極施加電壓,以及

控制模塊,用于控制所述開關(guān)的閉合和打開。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置,其中所述開關(guān)選自繼電器和晶體管。

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1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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