[發(fā)明專利]AT切割的水晶振動(dòng)片、水晶裝置及水晶振動(dòng)片的制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110425167.9
• 申請(qǐng)日: 2011-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN102594281A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 水澤周一;高橋岳寬;森田邦夫;原田雅和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電波工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H03H3/02
• 分類號(hào): H03H3/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強(qiáng);李家浩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及形成有貫通槽的AT切割的水晶振動(dòng)片、水晶裝置及水晶振動(dòng)片的制造方法。

背景技術(shù)

已知有具有通過電壓的施加而振動(dòng)的振動(dòng)部的水晶裝置。這種水晶裝置具備形成有包圍振動(dòng)部的框部，可以在晶片上形成多個(gè)水晶裝置而一次性地制造大量的水晶裝置。另外，一般在這種水晶裝置的水晶振動(dòng)片上使用溫度特性良好的AT切割的水晶振動(dòng)片。

通過蝕刻在形成有具有框部的AT切割的水晶振動(dòng)片的晶片上，在框部與振動(dòng)部之間形成貫通晶片的貫通槽。在AT切割的水晶振動(dòng)片中，由于結(jié)晶的各向異性使得蝕刻速度隨晶片的部位而不同。因此，在AT切割的水晶振動(dòng)片中，以能夠可靠地形成貫通槽的方式使振動(dòng)部的大小變小而使貫通槽的寬度以較寬的寬度形成。在專利文獻(xiàn)1(日本特開2007-288331號(hào)公報(bào))中公開了如下壓電振動(dòng)片的制造方法，為了使振動(dòng)更加穩(wěn)定化，使振動(dòng)部增大、貫通槽的寬度變窄，在貫通槽上形成對(duì)蝕刻沒有各向異性的變質(zhì)部，由此使貫通槽可靠地貫通。

但是，在專利文獻(xiàn)1中，在形成水晶振動(dòng)片的工序中追加了用于形成變質(zhì)部的工序，使得制造工序變得復(fù)雜，不令人滿意。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明提供以不需要增加用于形成貫通槽的特別的工序而使振動(dòng)部變寬的方式形成貫通槽的AT切割的水晶振動(dòng)片、水晶裝置及水晶振動(dòng)片的制造方法。

第一觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，將長(zhǎng)邊方向規(guī)定為X軸、將厚度方向規(guī)定為Y’軸、將短邊方向規(guī)定為Z’軸，具備：利用電壓的施加而振動(dòng)的水晶振動(dòng)部；以包圍水晶振動(dòng)部的方式形成的框部；以及形成在水晶振動(dòng)部與框部之間且在Y’軸方向貫通的貫通槽；并且貫通槽包括形成在向X軸方向延伸的水晶振動(dòng)部的+Z’軸方向上的第一貫通槽和形成在-Z’軸方向上的第二貫通槽，第一貫通槽與第二貫通槽的Z’軸方向的寬度不同。

第二觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，在第一觀點(diǎn)的前提下，第一貫通槽的Z’軸方向的寬度比第二貫通槽的Z’軸方向的寬度小。

第三觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，將短邊方向規(guī)定為X軸、將厚度方向規(guī)定為Y’軸、將長(zhǎng)邊方向規(guī)定為Z’軸，具備：利用電壓的施加而振動(dòng)的水晶振動(dòng)部；以包圍水晶振動(dòng)部的方式形成的框部；以及形成在水晶振動(dòng)部與框部之間且在Y’軸方向貫通的貫通槽；并且貫通槽包括形成在向X軸方向延伸的水晶振動(dòng)部的+Z’軸方向上的第一貫通槽和形成在-Z’軸方向上的第二貫通槽，第一貫通槽與第二貫通槽的Z’軸方向的寬度不同。

第四觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，在第三觀點(diǎn)的前提下，第一貫通槽的Z’軸方向的寬度比第二貫通槽的Z’軸方向的寬度小。

第五觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，在第一觀點(diǎn)至第四觀點(diǎn)的前提下，框部在Y’軸方向上形成得比水晶振動(dòng)部還厚。

第六觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，在第一觀點(diǎn)至第五觀點(diǎn)的前提下，水晶振動(dòng)部是中心的Y’軸方向的厚度比外周的Y’軸方向的厚度還厚的臺(tái)面型。

第七觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片，在第一觀點(diǎn)至第六觀點(diǎn)的前提下，與水晶振動(dòng)部的貫通槽面對(duì)面的+Z’軸側(cè)的側(cè)面與-Z’軸側(cè)的側(cè)面形成平面狀。

第八觀點(diǎn)的水晶裝置，具備：第一觀點(diǎn)至第七觀點(diǎn)的任意一項(xiàng)所記載的AT切割的水晶振動(dòng)片；與AT切割的水晶振動(dòng)片的+Y’軸方向的面接合的第一板；以及與AT切割的水晶振動(dòng)片的-Y’軸方向的面接合的第二板。

就第九觀點(diǎn)的AT切割的水晶振動(dòng)片的制造方法而言，該AT切割的水晶振動(dòng)片將長(zhǎng)邊方向規(guī)定為X軸、將厚度方向規(guī)定為Y’軸、將短邊方向規(guī)定為Z’軸，并且具有：利用電壓的施加而振動(dòng)的水晶振動(dòng)部；以包圍水晶振動(dòng)部的方式形成的框部；以及形成在水晶振動(dòng)部與框部之間且在Y’軸方向貫通的貫通槽；具備：準(zhǔn)備形成有多個(gè)AT切割的水晶振動(dòng)片的被AT切割的水晶晶片的工序；使用包括形成在向X軸方向延伸的水晶振動(dòng)部的+Z’軸方向上的第一蝕刻區(qū)域和形成在-Z軸方向且Z’軸方向的寬度與第一蝕刻區(qū)域不同的第二蝕刻區(qū)域的掩膜，對(duì)與貫通槽所對(duì)應(yīng)的區(qū)域進(jìn)行曝光的曝光工序；以及對(duì)與在曝光工序中曝光的貫通槽對(duì)應(yīng)的區(qū)域進(jìn)行蝕刻的第一蝕刻工序。