[發(fā)明專(zhuān)利]晶圓測(cè)試裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110420013.0
• 申請(qǐng)日: 2011-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102520332A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王釗
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 無(wú)錫中星微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/26
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/26;G01R1/073
• 代理公司: 無(wú)錫互維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32236
• 代理人: 戴薇

1.一種晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，其包括：

至少一套測(cè)量探針卡，所述測(cè)量探針卡中包括用于測(cè)量晶片信號(hào)的測(cè)量探針；

至少一套熔斷探針卡，所述熔斷探針卡中包括用于對(duì)所述晶片進(jìn)行修調(diào)或者編程的熔斷探針。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述晶圓測(cè)試裝置包括若干套測(cè)量探針卡，每套測(cè)量探針卡中包括用于一個(gè)測(cè)試項(xiàng)目的測(cè)量探針。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述晶圓測(cè)試裝置還包括與所述測(cè)量探針卡和所述熔斷探針卡相連的測(cè)試機(jī)臺(tái)，所述測(cè)試機(jī)臺(tái)中包括用于存儲(chǔ)所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果的存儲(chǔ)裝置。

4.一種晶圓測(cè)試方法，用于如權(quán)利要求3所述的測(cè)試裝置中，其特征在于，其包括：

通過(guò)所述測(cè)量探針卡對(duì)晶片進(jìn)行測(cè)量；

根據(jù)所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果通過(guò)所述熔斷探針卡對(duì)所述晶片進(jìn)行修調(diào)或者編程。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述通過(guò)所述測(cè)量探針卡對(duì)晶片進(jìn)行測(cè)量，具體包括：

通過(guò)包括用于一個(gè)測(cè)試項(xiàng)目的測(cè)量探針的測(cè)量探針卡對(duì)所述晶片進(jìn)行一個(gè)項(xiàng)目的測(cè)試；

通過(guò)包括用于另一測(cè)試項(xiàng)目的測(cè)量探針的測(cè)量探針卡對(duì)所述晶片進(jìn)行另一項(xiàng)目的測(cè)試。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述根據(jù)所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果通過(guò)所述熔斷探針卡對(duì)所述晶片進(jìn)行修調(diào)或者編程，具體包括：

根據(jù)測(cè)試結(jié)果通過(guò)所述熔斷探針卡中的熔斷探針對(duì)所述晶片中預(yù)先設(shè)計(jì)的電阻網(wǎng)絡(luò)、熔絲或者齊納二極管進(jìn)行選擇性熔斷。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述通過(guò)所述測(cè)量探針卡對(duì)晶片進(jìn)行測(cè)量之后，還包括：

將所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果存儲(chǔ)于存儲(chǔ)裝置中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述根據(jù)所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果通過(guò)所述熔斷探針卡對(duì)所述晶片進(jìn)行修調(diào)或者編程之前，還包括：

從所述存儲(chǔ)裝置中獲取所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述根據(jù)所述測(cè)量探針卡的測(cè)量結(jié)果通過(guò)所述熔斷探針卡對(duì)所述晶片進(jìn)行修調(diào)或者編程之后，還包括：

通過(guò)所述測(cè)量探針卡對(duì)所述晶片再次進(jìn)行測(cè)量；

將所述測(cè)量探針卡的再次測(cè)量結(jié)果存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)裝置中。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述方法還包括：將所述存儲(chǔ)裝置中的測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示或者打印。