[發(fā)明專利]用于多重圖案化技術(shù)的單元布局

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110419100.4
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102542099A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設計）人: 陳皇宇;侯元德;謝艮軒;劉如淦;魯立忠
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

1.一種方法，包括：

將布置區(qū)域中的多個區(qū)域標記為第一區(qū)域或者第二區(qū)域，所述布置區(qū)域具有多個單元；

分析單元的子圖案的類型，通過第一掩模和第二掩模限定所述子圖案；

將所述第一區(qū)域與所述第一掩模相關(guān)聯(lián)，將所述第二區(qū)域與所述第二掩模相關(guān)聯(lián)；以及

判斷所述單元的邊界區(qū)域是否包含通過與所述邊界區(qū)域不相關(guān)聯(lián)的掩模限定出的圖案，相鄰單元的所述邊界區(qū)域是相交替的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述標記包括：將一個或者多個區(qū)域標記為第三區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一區(qū)域的寬度和所述第二區(qū)域的寬度取決于聚合物間距。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進一步包括：當判斷出所述邊界區(qū)域包含有通過與所述邊界區(qū)域不相關(guān)聯(lián)的掩模限定出的圖案，則修改所述單元的所述子圖案，

其中，所述修改包括修改所述掩模。

5.一種方法，包括：

接收多個單元定義，每個所述單元定義均包括邊界區(qū)域的標記，每個所述邊界區(qū)域標記了多個掩模中的一個，每個所述單元定義均進一步包括單元布局；以及

將第一單元置于鄰近第二單元的位置，從而使得所述第一單元的邊界區(qū)域的類型與所述第二單元的邊界區(qū)域的類型不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述邊界區(qū)域的寬度基于聚合物間距。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，將特有的區(qū)域標識分配給所述多個掩模中的一個，

其中，所述特有的區(qū)域標識是顏色。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述邊界區(qū)域包括第一邊界區(qū)域，并且進一步包括判斷第一邊界區(qū)域是否包含有與所述第一邊界區(qū)域不相關(guān)聯(lián)的掩模，

其中，當確定出所述第一邊界區(qū)域包含有與所述第一邊界區(qū)域不相關(guān)聯(lián)的掩模時，修改所述單元布局，

其中，所述修改包括修改所述掩模。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述第一單元與相鄰單元類型相同。

10.一種計算機程序產(chǎn)品，所述計算機程序產(chǎn)品具有其上嵌入有計算機程序的非瞬時性、計算機可讀介質(zhì)，所述計算機程序包括：

用于接收布置區(qū)域的計算機程序代碼，所述布置區(qū)域具有多個單元；

用于標記所述布置區(qū)域中的多個區(qū)域的計算機程序代碼，所述多個區(qū)域被分為多種區(qū)域類型；

用于標記其中設置有區(qū)域單元圖案的計算機程序代碼；以及

用于將單元圖案置于所述布置區(qū)域中從而使得相鄰元件的邊界區(qū)域不同的計算機程序代碼，

其中，所述區(qū)域的類型被可視地標記在顯示器上，

其中，所述區(qū)域的類型通過不同顏色被可視地標記出。