[發明專利]光學薄膜損傷閾值的測試系統

有效

• 申請號: 201110418574.7
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102589848A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 樊仲維;朱光
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種針對光學元件的測試系統，特別涉及一種光學薄膜損傷閾值的測試系統。

背景技術

激光器技術的不斷發展，使得其被廣泛的應用到各個領域。準確掌握光學薄膜的激光誘導損傷閾值對于強激光研究領域內的科研人員和工程技術人員來說顯得格外重要。由于影響激光損傷的因素很多，涉及面很廣，且損傷機理也很復雜。因此，高功率激光誘導光學薄膜損傷至今仍是國內外眾多科研工作者關注的熱點。

激光光學薄膜損傷閾值的準確測量是研究高抗激光損傷光學元件的必要條件，光學薄膜損傷閾值是薄膜對激光作用的關鍵參數。準確、高效的測試激光薄膜損傷閾值是提高激光薄膜抗損傷能量的先決條件。

現有技術測試光學薄膜損傷閾值測試中，僅測試光學薄膜表面的圖像信息，未對激光光束的強度、光斑面積、空間功率分布、時域分布等信息進行測量。由于存在激光高壓源起伏，從而給光學薄膜損傷閾值測試帶來的較大的測量誤差。

發明內容

為了解決現有技術激光器參數測量系統存在的較大測量誤差的技術問題，本發明提供一種測量結果精確、便于安裝及調節的光學薄膜損傷閾值的測試系統。

本發明提供一種光學薄膜損傷閾值的測試系統，其包括一個脈沖激光器、一個衰減片、一個會聚透鏡、一個窗口鏡、一個分束鏡、一個全反鏡、一個能量計、一個第一圖像采集裝置和一個第二圖像采集裝置，所述激光器輸出的光束經過所述衰減片衰減后透射到所述會聚透鏡，經過所述會聚透鏡會聚后的光束依次經過所述窗口鏡、所述分束鏡透射并經過所述全反鏡反射進入到待測光學薄膜上，經過所述窗口鏡反射的光束進入所述第一圖像采集裝置，經過所述分束鏡反射的光束進入所述能量計，所述第二圖像采集裝置采集所述待測光學薄膜表面的圖像信息。

優選的，所述測量系統還包括一個光電探頭和一個示波器，所述光電探頭用于接收待測光學薄膜的反射光，所述示波器與所述光電探頭連接。

優選的，所述測量系統還包括一個數據處理裝置，所述能量計、所述第一圖像采集裝置、所述第二圖像采集裝置和所述示波器都與所述數據處理裝置連接。

優選的，所述數據處理裝置包括數據接口模塊，所述數據接口模塊與所述能量計、所述第一圖像采集裝置、所述第二圖像采集裝置、所述示波器都連接，所述數據接口模塊包括PCI插槽、USB插槽和藍牙模塊中的任意一種或者多種。

優選的，所述測量系統還包括一個載物臺，所述載物臺用于承載待測光學薄膜，所述載物臺包括一個位移步進電機，所述位移步進電機與所述數據處理裝置連接，所述載物臺在所述位移步進電機的驅動下移動。

優選的，所述載物臺還包括一個連接架，所述連接架的一端固定在該載物臺上，所述連接架的另一端承載所述第二圖像采集裝置。

優選的，所述測量系統還包括一個旋轉臺，所述旋轉臺用于承載所述衰減片，所述旋轉臺包括一個旋轉步進電機，所述旋轉步進電機與所述數據處理裝置連接，所述旋轉臺在所述旋轉步進電機的驅動下轉動。

優選的，所述第一圖像采集裝置和第二圖像采集裝置都包括一個CCD圖像傳感器和一個數據采集卡，所述CCD圖像傳感器將采集的圖像信息輸出到所述數據采集卡，所述數據采集卡與所述數據處理裝置連接。

優選的，所述第二圖像采集裝置還包括一個望遠鏡，所述待測光學薄膜表面的圖像信息經過所述望遠鏡后進入到所述第二CCD圖像傳感器。

優選的，該測試系統還包括一個用于改變光路的全反射透鏡組，所述全反射透鏡組設置在所述衰減片與所述會聚透鏡之間。

相較于現有技術，本發明的主要有益效果在于：

本發明所述光學元件損傷閾值的測試系統利用所述第一圖像采集裝置、所述能量計和所述光電探測器對激光光束的強度、光斑面積、空間功率分布、時域分布等信息進行測量，能夠準確知道相應的測試條件，使測量更加準確。并且，本發明所述光學元件損傷閾值的測試系統通過所述數據處理裝置進行數據處理，使得測量的得到的數據結果更加精確。此外，本發明通過所述旋轉步進電機調整所述衰減片的旋轉位置，通過所述位移步進電機調整所述載物臺的移動位置，使得所述光學元件損傷閾值的測試系統的應用范圍較為廣泛，并且使得整個系統的安裝和調節也較為簡便。

附圖說明

圖1是本發明光學薄膜損傷閾值的測試系統實施例光路的示意圖。

具體實施方式