[發明專利]光學薄膜損傷閾值的測試系統

有效

• 申請號: 201110418574.7
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102589848A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 樊仲維;朱光
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，該測試系統包括一個脈沖激光器、一個衰減片、一個會聚透鏡、一個窗口鏡、一個分束鏡、一個全反鏡、一個能量計、一個第一圖像采集裝置和一個第二圖像采集裝置，所述激光器輸出的光束經過所述衰減片衰減后透射到所述會聚透鏡，經過所述會聚透鏡會聚后的光束依次經過所述窗口鏡、所述分束鏡透射并經過所述全反鏡反射進入到待測光學薄膜上，經過所述窗口鏡反射的光束進入所述第一圖像采集裝置，經過所述分束鏡反射的光束進入所述能量計，所述第二圖像采集裝置采集所述待測光學薄膜表面的圖像信息。

2.根據權利要求1所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述測量系統還包括一個光電探頭和一個示波器，所述光電探頭用于接收待測光學薄膜的反射光，所述示波器與所述光電探頭連接。

3.根據權利要求2所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述測量系統還包括一個數據處理裝置，所述能量計、所述第一圖像采集裝置、所述第二圖像采集裝置和所述示波器都與所述數據處理裝置連接。

4.根據權利要求3所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述數據處理裝置包括數據接口模塊，所述數據接口模塊與所述能量計、所述第一圖像采集裝置、所述第二圖像采集裝置、所述示波器都連接，所述數據接口模塊包括PCI插槽、USB插槽和藍牙模塊中的任意一種或者多種。

5.根據權利要求3所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述測量系統還包括一個載物臺，所述載物臺用于承載待測光學薄膜，所述載物臺包括一個位移步進電機，所述位移步進電機與所述數據處理裝置連接，所述載物臺在所述位移步進電機的驅動下移動。

6.根據權利要求5所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述載物臺還包括一個連接架，所述連接架的一端固定在該載物臺上，所述連接架的另一端承載所述第二圖像采集裝置。

7.根據權利要求3所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述測量系統還包括一個旋轉臺，所述旋轉臺用于承載所述衰減片，所述旋轉臺包括一個旋轉步進電機，所述旋轉步進電機與所述數據處理裝置連接，所述旋轉臺在所述旋轉步進電機的驅動下轉動。

8.根據權利要求1所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述第一圖像采集裝置和第二圖像采集裝置都包括一個CCD圖像傳感器和一個數據采集卡，所述CCD圖像傳感器將采集的圖像信息輸出到所述數據采集卡，所述數據采集卡與所述數據處理裝置連接。

9.根據權利要求8所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，所述第二圖像采集裝置還包括一個望遠鏡，所述待測光學薄膜表面的圖像信息經過所述望遠鏡后進入到所述第二CCD圖像傳感器。

10.根據權利要求1所述的光學薄膜損傷閾值的測試系統，其特征在于，該測試系統還包括一個用于改變光路的全反射透鏡組，所述全反射透鏡組設置在所述衰減片與所述會聚透鏡之間。