[發明專利]用于泡生法晶體生長設備的電源

無效

• 申請號: 201110417322.2
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102520749A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 伊戈爾庫茲涅佐夫;伊戈爾柯爾克;劉春艷;畢成;胡春霞
• 申請（專利權）人: 蘇州優晶光電科技有限公司
• 主分類號: G05F1/46
• 分類號: G05F1/46;C30B15/00;C30B29/20
• 代理公司: 張家港市高松專利事務所(普通合伙) 32209
• 代理人: 孫高

技術領域

本發明涉及到電源，尤其涉及到用于泡生法晶體生長設備的電源。

背景技術

目前，用于泡生法晶體生長設備的電源在受到電網外部因素、藍寶石單晶生長過程中的內部因素的干擾以及控制計算系統電壓整定值的影響，輸出電壓不穩定，從而影響到藍寶石單晶生長的質量。因為藍寶石單晶的生長質量直接取決于加熱器電壓的穩定性。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種可以獲得穩定的輸出電壓的用于泡生法晶體生長設備的電源。

為解決上述技術問題，本發明所采用的技術方案為：用于泡生法晶體生長設備的電源，包括：輸出控制單元、輸入電路、輸出電路、串設在輸入電路與輸出電路之間的輸出調整電路、數據處理單元、比例積分控制單元和控制校正單元，輸入電路和輸出電路分別與輸出調整單元相連，所述輸出調整電路的輸出端與輸出控制單元的控制端相連，輸出控制單元還與數據處理單元相連，數據處理單元還與控制校正單元相連，控制校正單元與比例積分控制單元，比例積分控制單元與輸出控制單元相連。

所述的比例積分控制單元包括至少兩個比例積分電路。

所述的輸出電路與輸出調整單元之間設置有輸出變壓器。

所述的輸入電路上設置有輸入電流感應單元，所述的輸出電路上設置有輸出電流感應單元，輸入電流感應電路和輸出電流感應電路分別與數據處理單元相連。

本發明的有益效果是：本發明將設定的輸出電壓、電流和功率通過控制校正單元和比例積分控制單元送入輸出控制單元，將所述的電源，將輸入電路和輸出電路的采樣電流和電壓送入輸出控制單元，然后，由輸出控制單元控制輸出調整單元，及時地調整輸出電路的輸出電壓，使得輸出電壓穩定輸出，保證了藍寶石單晶生長的質量。

附圖說明

圖1是本發明的電原理結構示意圖。

圖中：1、電源自動化單元，2、輸入電壓指示單元，3、臨視輸入電壓單元，4、臨視輸入電流單元，5、輸出控制單元，6、工作站，7、存儲單元，8、控制校正單元，9、比例積分微分單元，10、輸出調整電路，11、輸入電流感應單元，12、輸出電流感應電路，13、設置單元，14、輸出變壓器，15、負載。

具體實施方式

下面結合附圖，詳細描述本發明的具體實施方案。

如圖1所示，本發明所述的用于泡生法晶體生長設備的電源，包括輸出控制單元5、輸入電路、輸出電路、串設在輸入電路與輸出電路之間的輸出調整電路10、作為數據處理單元的工作站6、比例積分控制單元9以及控制校正單元8，輸入電路和輸出電路分別與輸出調整單元5相連，所述輸出調整電路5的輸出端與輸出控制單元10的控制端相連，輸出控制單元5還與工作站6相連，工作站6通過設定單元13和存儲單元7與控制校正單元8相連，控制校正單元8與比例積分控制單元9相連，比例積分控制單元9與輸出控制單元5相連；在本實施例中，所述的比例積分控制單元9包括兩級比例積分電路，所述的輸出電路與輸出調整單元10之間設置有輸出變壓器14；輸入電路上設置有輸入電流感應單元11，輸出電路上設置有輸出電流感應單元12，輸入電流感應電路11和輸出電流感應電路12通過監視輸入電流單元4與工作站6相連；所述的輸入電路通過臨視輸入電壓3與輸出控制單元5相連，同時，輸出控制單元5將輸入電路的電壓送入輸入電壓指示單元2顯示；所述的輸入電路通過電源自動化單元1與三相交流輸入電源相連，所述的輸出電路與負載15相連；所述的負載15為加熱器。

本發明的工作原理為：工作站6根據工藝流程確定作為負載15的加熱器的電壓整定值，并以數字形式輸出，此后，電壓整定值將被轉換成模擬信號并被反饋到作為外部控制回路的第一路比例積分微分電路，由于單晶生長過程中系統的電熱參數都會發生變化，第一路比例積分微分電路可避免控制信號受內部因素的干擾，保證信號穩定性，然后，信號從第一路比例積分微分電路進入到作為內部控制回路的第二路比例積分微分，第二路比例積分微分可保證輸出電壓的穩定性，避免其受電網外部干擾。