[發明專利]用于泡生法晶體生長設備的電源

無效

• 申請號: 201110417322.2
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102520749A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 伊戈爾庫茲涅佐夫;伊戈爾柯爾克;劉春艷;畢成;胡春霞
• 申請（專利權）人: 蘇州優晶光電科技有限公司
• 主分類號: G05F1/46
• 分類號: G05F1/46;C30B15/00;C30B29/20
• 代理公司: 張家港市高松專利事務所(普通合伙) 32209
• 代理人: 孫高

1.用于泡生法晶體生長設備的電源，包括：輸出控制單元、輸入電路和輸出電路以及串設在輸入電路與輸出電路之間的輸出調整電路，其特征在于：該電源還包括有數據處理單元、比例積分控制單元和控制校正單元，所述的輸入電路和輸出電路分別與輸出調整單元相連，所述輸出調整電路的輸出端與輸出控制單元的控制端相連，輸出控制單元還與數據處理單元相連，數據處理單元還與控制校正單元相連，控制校正單元與比例積分控制單元，比例積分控制單元與輸出控制單元相連。

2.如權利要求1所述的電源，其特征在于：所述的比例積分控制單元包括至少兩個比例積分電路。

3.如權利要求1所述的電源，其特征在于：所述的輸出電路與輸出調整單元之間設置有輸出變壓器。

4.如權利要求1、2或3所述的電源，其特征在于：所述的輸入電路上設置有輸入電流感應單元，所述的輸出電路上設置有輸出電流感應單元，輸入電流感應電路和輸出電流感應電路分別與數據處理單元相連。