[發(fā)明專利]蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110417068.6
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN103160775A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 敖偉;邱勇;陳紅;黃秀頎;何麟
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔;黃曉明

1.一種蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：其包括設(shè)置在掩膜板的四個邊角上的第一對位標(biāo)識、設(shè)置在基板上的四個用以分別和第一對位標(biāo)識進(jìn)行相對位的第二對位標(biāo)識、以及設(shè)置在掩膜板正上方的用以判斷第一對位標(biāo)識和第二對位標(biāo)識是否對齊吻合的四個攝像頭，該攝像頭分別具有觀察到第一對位標(biāo)識和第二對位標(biāo)識的可視范圍。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：所述第一對位標(biāo)識上和第二對位標(biāo)識具有與可視范圍相交的對位標(biāo)識延長線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：所述對位標(biāo)識延長線與可視范圍相交形成至少兩個相交點(diǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：位于掩膜板對角線上的兩個可視范圍內(nèi)的對位標(biāo)識延長線上標(biāo)有刻度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：相鄰的兩根對位標(biāo)識延長線相位于同一條直線上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：所述第一對位標(biāo)識和第二對位標(biāo)識完全相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍掩膜板對位系統(tǒng)，其特征在于：所述第一對位標(biāo)識和第二對位標(biāo)識均為“十”字形。