[發明專利]一種基于介質阻擋放電的固體樣品剝蝕方法及裝置

有效

• 申請號: 201110415342.6
• 申請日: 2011-12-13
• 公開（公告）號: CN102519917A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 邢志;楊萌;張四純;張新榮
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N21/62
• 分類號: G01N21/62;G01N21/31;G01N21/64;G01N1/28
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢

1.一種基于介質阻擋放電的固體樣品剝蝕方法，包括如下步驟：

工作氣體在交流電場的作用下進行介質阻擋放電產生等離子體射流；所述等離子體射流聚于待測固體樣品上即可對所述待測固體樣品中的元素進行剝蝕。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述工作氣體為氦氣、氬氣、氖氣、氮氣、氫氣和氧氣中至少一種；所述工作氣體的流速為100mL/min～600mL/min。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述交流電源的放電功率為1w～100w。

4.一種基于介質阻擋放電的固體樣品剝蝕裝置，其特征在于：所述裝置包括樣品室和毛細管，所述樣品室包括樣品室腔體和與該樣品室腔體相配合的樣品室蓋體；所述毛細管固設于所述樣品室蓋體上且一端延伸至所述樣品室腔體內；所述毛細管設于所述樣品室腔體外的部分上貼附有兩個電極，所述兩個電極之間設有間距，所述兩個電極均與交流電源相連接；所述樣品室腔體的側壁上的相對位置處分別設有輔助氣體進口和出氣口；所述樣品室和毛細管的材質均為絕緣介質。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于：所述毛細管的內徑為100nm～5mm，所述兩個電極之間的距離為2cm～8cm。

6.根據權利要求4或5所述的裝置，其特征在于：所述樣品室蓋體的材質為石英玻璃、硅氧玻璃或有機玻璃。

7.根據權利要求4-6中任一所述的裝置，其特征在于：所述毛細管與樣品室蓋體之間通過真空硅脂、橡皮泥、玻璃膠或密封圈進行密封配合。

8.根據權利要求4-7中任一所述的裝置，其特征在于：所述樣品室的底部與其側壁之間可為旋轉配合，該底部與電動轉動平臺相連接。

9.根據權利要求4-8中任一所述的裝置，其特征在于：所述絕緣介質為石英玻璃、有機玻璃、陶瓷或聚四氟乙烯塑料。