[發明專利]薄膜晶體管基板及半穿透半反射式液晶顯示器的制造方法

無效

• 申請號: 201110399984.1
• 申請日: 2011-12-06
• 公開（公告）號: CN102403271A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 郭晉川
• 申請（專利權）人: 華映視訊（吳江）有限公司;中華映管股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;G03F7/00;G02F1/1333
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

1.一種薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，包含下列步驟:

提供一基板，其定義有多個像素區域，每個像素區域形成有一薄膜晶體管，每個像素區域包含一穿透區及一反射區；

形成一光阻層在該薄膜晶體管上；

只使用一光罩，曝光該光阻層，并顯影該曝光后的光阻層，以使該光阻層同時形成有一貫穿開口、多個貫穿孔及凸塊，其中該貫穿開口位于該穿透區，該些貫穿孔及凸塊依序排列而位于該反射區，且該貫穿開口的尺寸大于該貫穿孔的尺寸；以及

利用一熱處理固化制程將該些凸塊進行固化，使該些凸塊形成有一弧形表面。

2.如權利要求1所述的薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，該熱處理固化制程使該光阻層產生熱回流現象，讓尺寸較小的該些貫穿孔回填，而尺寸較大的該貫穿開口則可維持原曝穿狀態。

3.如權利要求1所述的薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，還包含下列步驟:?形成一反射電極于該弧形表面。

4.如權利要求1所述的薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，該熱處理固化制程為一烤箱的熱風或一熱板的熱傳導。

5.如權利要求1所述的薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，該光阻層藉由一涂布或一沉積制程而形成在該薄膜晶體管上。

6.如權利要求1所述的薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，該光阻層為一有機光阻。

7.如權利要求1所述的薄膜晶體管基板的制造方法，其特征在于，部份的該些貫穿孔裸露出該薄膜晶體管。

8.一種半穿透半反射式液晶顯示器的制造方法，其特征在于，包含下列步驟:

提供一彩色濾光片基板及如權利要求2所述的該薄膜晶體管基板；

配置一液晶層于該彩色濾光片基板與薄膜晶體管基板之間，如此以完成一液晶面板；

配置一背光模組于該液晶面板下方，其中該背光模組的光線通過該穿透區而作為光源，且外在環境光藉由位于該反射區內的反射電極的反射而作為光源，如此以完成一半穿透半反射式液晶顯示器。

9.如權利要求8所述的半穿透半反射式液晶顯示器的制造方法，其特征在于，該熱處理固化制程為一烤箱的熱風或一熱板的熱傳導。

10.如權利要求8所述的半穿透半反射式液晶顯示器的制造方法，其特征在于，部份的該些貫穿孔裸露出該薄膜晶體管。