[發明專利]包含有遠程圖像識別系統的楔形鍵合方法

有效

• 申請號: 201110398068.6
• 申請日: 2011-12-05
• 公開（公告）號: CN102569105A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 鄭志華;梅文杰;吳漢淦;鄭希嵐
• 申請（專利權）人: 先進自動器材有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H04N5/225;G06K9/00
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 艾晶;周春發

1.一種使用旋轉鍵合頭將導線鍵合到目標表面上的方法，該方法包含有以下步驟：

在目標表面上方定位鍵合頭的楔形鍵合工具；

使用照相機系統完成目標表面上的鍵合點的圖案識別，該照相機系統相對于鍵合頭的布置以斜角的方式斜置；

確定從圖案識別步驟中所獲得的鍵合點的實際位置，以及第一鍵合點和第二鍵合點的實際位置之間的方位；

移動鍵合頭至第一鍵合點的實際位置，并將鍵合頭旋轉至所確定的方位上；其后

使用鍵合頭在第一鍵合點處將導線鍵合到目標表面上。

2.如權利要求1所述的方法，其中，該鍵合頭被垂直設置，該照相機系統相對于垂直設置的鍵合頭以20度至45度之間的角度斜置。

3.如權利要求1所述的方法，其中，該照相機系統被聚焦以獲得目標表面上所設置的鍵合點的圖像。

4.如權利要求3所述的方法，其中，該旋轉鍵合頭具有旋轉中心，照相機系統具有光學中心，該光學中心被布置來與旋轉中心大體相交，以致于該旋轉中心和光學中心在目標表面上基本上沒有偏差。

5.如權利要求1所述的方法，其中，旋轉鍵合頭具有旋轉軸線，該方法還進一步包含有以下步驟：

使用光學系統向目標表面提供軸向照明，該光學系統包含有光源，該光源安裝在旋轉軸線與照相機系統相對的一側。

6.如權利要求5所述的方法，其中，該光學系統安裝在鍵合頭上，并隨同鍵合頭旋轉，該光源以覆蓋角度達到180度的弧形布置。

7.如權利要求6所述的方法，其中圖案識別的步驟還包含有以下步驟：

僅僅當鍵合頭旋轉到圍繞旋轉軸線與照相機系統相對設置的光源的角度時，捕獲目標表面的圖案。

8.如權利要求1所述的方法，該方法還包含有以下步驟：

在目標表面上方定位鍵合頭以前，旋轉鍵合頭至預教導的旋轉方位上。

9.如權利要求1所述的方法，該方法還包含有以下步驟：

使用附加的照相機系統完成鍵合點的圖案識別，該附加的照相機系統安裝在鍵合頭和所述的照相機系統相對的另一側。

10.如權利要求9所述的方法，其中旋轉鍵合頭可旋轉至第一組旋轉角度和第二組旋轉角度，其中一個照相機系統捕獲第一組旋轉角度的圖像，而另一個照相機系統捕獲第二組旋轉角度的圖像。

11.如權利要求10所述的方法，其中，第一組旋轉角度為鍵合頭旋轉角度的一半，而第二組旋轉角度為鍵合頭旋轉角度的另一半。

12.如權利要求1所述的方法，該方法還包含有以下步驟：

在鍵合頭移向目標表面以將導線鍵合到目標表面的同時，將該目標表面水平地調整至第一鍵合點的實際位置。

13.如權利要求1所述的方法，其中，光學系統包含有光源，該光源設置在鍵合頭的、圍繞旋轉鍵合頭的旋轉軸線與照相機系統的位置相對的一側，且該光學系統圍繞旋轉鍵合頭的旋轉軸線與照相機系統的位置鏡像。

14.如權利要求13所述的方法，其中，在圖案識別步驟以前，該方法還包含有以下步驟：提升鍵合頭至足夠的高度，以避免阻擋照相機系統的光學通路。

15.如權利要求13所述的方法，其中，該光學系統沒有安裝在鍵合頭上，以便于其與鍵合頭的旋轉分離。