[發明專利]用于清潔薄晶圓的旋轉夾盤

有效

• 申請號: 201110397985.2
• 申請日: 2011-11-30
• 公開（公告）號: CN102569128A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 林俞良;吳文進;林俊成;邱文智
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687;B08B7/04;B08B13/00
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;房嶺梅

1.一種用于清潔薄晶圓的器件，包括：

旋轉夾盤，所述旋轉夾盤包括：

圓形平板，沿著所述圓形平板的邊緣具有至少三個延長件；

至少三個固定卡具，安裝在所述延長件上，其中，在第一位置中，每個所述固定卡具打開，而通過將所述固定卡具從所述第一位置轉動到第二位置，每個所述固定卡具鎖定；以及

轉動的傳動軸，連接到所述圓形平板。

2.根據權利要求1所述的器件，其中，所述延長件為半橢圓形。

3.根據權利要求2所述的器件，其中，所述轉動的傳動軸通過電機驅動。

4.根據權利要求3所述的器件，其中，所述電機的速度處于500rpm和1000rpm之間，最大速度為大約2000rpm。

5.根據權利要求1所述的器件，其中，所述固定卡具進一步包括上部和底部。

6.根據權利要求5所述的器件，其中，當所述固定卡具處于所述第一位置時，所述底部在基本垂直于所述圓形平板的方向上延伸，所述上部從所述圓形平板的中心向外突出；當所述固定卡具處于所述第二位置時，所述上部從所述圓形平板的中心向內突出。

7.根據權利要求1所述的器件，其中，所述圓形平板的直徑為大約400nm。

8.根據權利要求1所述的器件，進一步包括：一個附加延長件和一個附加固定卡具，其中，所述圓形平板的所有延長件沿著所述圓形平板的邊緣設置，每個延長件都具有固定卡具。

9.一種用于清潔薄晶圓的系統，包括：

旋轉夾盤，所述旋轉夾盤包括：

圓形平板，沿著所述圓形平板的邊緣具有至少三個延長件，配置為在所述圓形平板上容納膠帶層，所述膠帶層具有第一直徑；

至少三個固定卡具，每個所述固定卡具都具有上部和底部，所述上部和所述底部安裝在所述延長件上，其中，在第一位置中，每個所述固定卡具打開，而通過將所述固定卡具從所述第一位置轉動到第二位置，每個所述固定卡具鎖定；以及

轉動的傳動軸，連接到所述圓形平板；以及

晶圓框架，安裝在所述旋轉夾盤上，配置為固定所述膠帶層。

10.一種用于清潔薄晶圓的系統，包括：

旋轉夾盤，所述旋轉夾盤包括：

圓形平板，沿著所述圓形平板的邊緣具有至少三個延長件，配置為在所述圓形平板上容納膠帶層；

至少三個固定卡具，每個所述固定卡具都具有上部和底部，所述上部和所述底部安裝在所述延長件上，其中，在第一位置中，每個所述固定卡具打開，而通過將所述固定卡具從所述第一位置轉動到第二位置，每個所述固定卡具鎖定；以及

轉動的傳動軸，連接到所述圓形平板；

晶圓框架，安裝在所述旋轉夾盤上，配置為固定所述膠帶層；

杯體，具有內壁和外壁；

至少三個噴嘴和至少三個導管，所述至少三個噴嘴固定在所述杯體的所述內壁，所述至少三個導管固定在所述杯體的所述外壁；

化學溶劑噴嘴，置于所述杯體內和所述旋轉夾盤上方；以及

廢棄化學品吸收體。