[發(fā)明專(zhuān)利]金相組織電解液、鉬的腐蝕方法及其金相組織顯示方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110396459.4 | 申請(qǐng)日： | 2011-12-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102443841A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-05-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學(xué)澤;方依清 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C25F3/16 | 分類(lèi)號(hào)： | C25F3/16;C25F3/26;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金相 組織 電解液 腐蝕 方法 及其 顯示 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及金相組織電解液、鉬或鉬合金的腐蝕方法及其金相組織的顯示方法。
背景技術(shù)
金屬材料的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)與硬度、強(qiáng)度、延展性等材料性能有著直接和密切的聯(lián)系，而金相觀察則是研究金屬材料內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)最為直接有效的方法。采用定量金相學(xué)原理，由二維金相試樣磨面或薄膜的金相顯微組織的測(cè)量和計(jì)算來(lái)確定試樣的金相組織的三維空間形貌，從而建立組成成分、組織和性能間的定量關(guān)系。金相是指金屬或合金的化學(xué)成分以及各種成分在金屬或合金內(nèi)部的物理狀態(tài)和化學(xué)狀態(tài)。
要進(jìn)行金相觀察首先要使金屬的晶界組織顯示出來(lái)，然后用金相顯微鏡觀察金屬的金相組織。晶界是結(jié)構(gòu)相同而取向不同晶體之間的界面，也就是晶粒與晶粒之間的接觸面。在晶界面上，原子排列從一個(gè)取向過(guò)渡到另一個(gè)取向，故晶界處的原子排列處于過(guò)渡狀態(tài)。
以用作靶材的鉬或鉬合金的金相觀察為例，在現(xiàn)有技術(shù)中，一般的方法為：從鉬或鉬合金靶材中切取一部分作為試樣；對(duì)所述試樣作表面化處理，去除表面的氧化物；將所述試樣置于由硝酸和氫氟酸構(gòu)成的浸蝕液中進(jìn)行腐蝕處理；取出所述試樣，清洗并烘干，利用金相顯微鏡對(duì)所述試樣的金相組織進(jìn)行觀察。另外，有關(guān)金屬或其合金金相組織的顯示方法，可以參閱公開(kāi)號(hào)CN101736343A的中國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)文件的相關(guān)技術(shù)內(nèi)容。
若采用的是含硝酸和氫氟酸的混合液對(duì)所述鉬或鉬合金的試樣進(jìn)行腐蝕處理，則鉬或鉬合金進(jìn)行腐蝕速度太快，腐蝕時(shí)間難以控制，成功率較低，晶界顯示效果差強(qiáng)人意，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)要求，且含氫氟酸和硝酸的混合液強(qiáng)氧化性、強(qiáng)腐蝕性對(duì)環(huán)境和人身存在很大的安全隱患。
因此，如何對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行腐蝕，如何選擇合適的腐蝕液，使得鉬或鉬合金的腐蝕效果和晶界顯示效果良好，并且能夠減小金相組織電解液的安全隱患就顯得十分必要。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種金相組織電解液、鉬或鉬合金的腐蝕方法及其金相組織的顯示方法，以提高鉬或鉬合金金相組織的晶界顯示效果和減小金相組織電解液的安全隱患。
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種金相組織電解液，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
可選的，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66∶11∶33∶(10～14)。
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種鉬或鉬合金的腐蝕方法，包括：提供鉬或鉬合金靶材；
將所述鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
可選的，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66∶11∶33∶(10～14)。
可選的，所述電解拋光的時(shí)間為4s～8s。
可選的，所述電解拋光的電壓為23V～30V。
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，包括：
提供鉬或鉬合金靶材；
對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨；
對(duì)打磨后的鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光；
將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
可選的，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66∶11∶33∶(10～14)。
可選的，所述電解拋光的時(shí)間為4s～8s。
可選的，所述電解拋光的電壓為23V～30V。
可選的，所述機(jī)械拋光過(guò)程中使用金剛石研磨膏對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光。
可選的，所述機(jī)械拋光的潤(rùn)濕劑為無(wú)水乙醇。
可選的，所述機(jī)械拋光的砂輪機(jī)轉(zhuǎn)速為400r/min～600r/min。
可選的，所述機(jī)械拋光的時(shí)間為2min～3min。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的實(shí)施例中采用乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液為金相組織電解液，鉬或鉬合金在此金相組織電解液中電解拋光后有良好的腐蝕效果和顯示效果，上述方法相對(duì)于現(xiàn)有的氫氟酸和硝酸作為腐蝕劑對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行化學(xué)腐蝕的方法，對(duì)作業(yè)人員的健康危害和環(huán)境污染較小。
附圖說(shuō)明
圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例鉬或鉬合金的腐蝕方法的流程示意圖；
圖2是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例鉬或鉬合金金相組織的顯示方法的流程示意圖；
圖3是本發(fā)明的另一實(shí)施例鉬或鉬合金金相組織的顯示方法的流程示意圖。
具體實(shí)施方式
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