[發(fā)明專利]金相組織電解液、鉬的腐蝕方法及其金相組織顯示方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110396459.4 | 申請日： | 2011-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN102443841A | 公開（公告）日： | 2012-05-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;方依清 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C25F3/16 | 分類號： | C25F3/16;C25F3/26;G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金相 組織 電解液 腐蝕 方法 及其 顯示 | ||
1.一種金相組織電解液，其特征在于，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
2.如權(quán)利要求1所述的金相組織電解液，其特征在于，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66∶11∶33∶(10～14)。
3.一種鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，包括：提供鉬或鉬合金靶材；將所述鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
4.如權(quán)利要求3所述的鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66∶11∶33∶(10～14)。
5.如權(quán)利要求3所述的鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，所述電解拋光的時間為4s～8s。
6.如權(quán)利要求3所述的鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，所述電解拋光的電壓為23V～30V。
7.一種鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，包括：
提供鉬或鉬合金靶材；
對所述鉬或鉬合金靶材進行打磨；
對打磨后的鉬或鉬合金靶材進行機械拋光；
將機械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
8.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66∶11∶33∶(10～14)。
9.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述電解拋光的時間為4s～8s。
10.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述電解拋光的電壓為23V～30V。
11.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機械拋光過程中使用金剛石研磨膏對所述鉬或鉬合金靶材進行機械拋光。
12.如權(quán)利要求11所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機械拋光的潤濕劑為無水乙醇。
13.如權(quán)利要求11所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機械拋光的砂輪機轉(zhuǎn)速為400r/min～600r/min。
14.如權(quán)利要求11所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機械拋光的時間為2min～3min。
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