[發明專利]一種制備薄膜材料的靶材托無效
| 申請號： | 201110393960.5 | 申請日： | 2011-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN103132035A | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 楊海剛;秦瑞平;蔣玉榮;李新強;張計才;張基東;宋桂林 | 申請（專利權）人： | 河南師范大學 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 453007*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 薄膜 材料 靶材托 | ||
【權利要求書】：
1.本發明涉及一種制備薄膜材料的靶材托，該靶材托所采用的材質為導電和導熱性能較好的金屬銅，或不銹鋼材料。
2.該靶材托的形狀與實際的鍍膜設備所要求的靶材形狀相一致，外部尺寸略大于所應用的靶材1-6mm，厚度為2-5mm；中間開一個凹槽，凹槽的尺寸和所用靶材一致，凹槽深度為1-4mm，凹槽的作用是盛放靶材。
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