[發(fā)明專利]切削裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110392903.5 | 申請日： | 2011-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN102528952A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 邱曉明 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;B28D7/04;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 黨曉林;王小東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 切削 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種切削裝置，其具備：卡盤工作臺，所述卡盤工作臺保持被加工物；切削構(gòu)件，所述切削構(gòu)件具備切削刀具，該切削刀具用于切削保持于所述卡盤工作臺的被加工物；以及切削液供給構(gòu)件，所述切削液供給構(gòu)件向被所述切削刀具切削加工的切削加工部供給切削液，所述切削裝置的特征在于，
該切削裝置具備超聲波生成構(gòu)件，該超聲波生成構(gòu)件具備：振動板，所述振動板夾著所述切削刀具配置在兩側(cè)，并且在所述振動板與保持于所述卡盤工作臺的被加工物的上表面之間設有用于形成切削液層的間隙；以及超聲波振子，所述超聲波振子對所述振動板施加超聲波振動。
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