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[發明專利]深溝槽拐角鈍化改善的方法有效

專利信息
申請號: 201110391830.8 申請日: 2011-11-30
公開(公告)號: CN103137487A 公開(公告)日: 2013-06-05
發明(設計)人: 郁新舉;吳志勇 申請(專利權)人: 上海華虹NEC電子有限公司
主分類號: H01L21/336 分類號: H01L21/336
代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 代理人: 高月紅
地址: 201206 上*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 深溝 拐角 鈍化 改善 方法
【權利要求書】:

1.一種深溝槽拐角鈍化改善的方法,其特征在于,包括步驟:

(1)在硅基板上成長一層硬質掩膜板基材,并形成光刻圖案;

(2)刻蝕形成硬質掩膜板圖案;

(3)刻蝕形成深溝槽;

(4)將硬質掩膜板向兩側刻蝕;

(5)去除深溝槽頂部尖角;

(6)去除硬質掩膜板。

2.如權利要求1所述的方法,其特征在于:所述步驟(1)中,硬質掩膜板基材,其厚度為2000~3000A,包括:氧化膜、氮化膜、或能實現與氧化膜或氮化膜相同功能的膜。

3.如權利要求2所述的方法,其特征在于:所述能實現與氧化膜或氮化膜相同功能的膜,是氮氧化膜。

4.如權利要求1所述的方法,其特征在于:所述步驟(2)中,采用干法或濕法刻蝕,形成硬質掩膜板圖案。

5.如權利要求1所述的方法,其特征在于:所述步驟(3)中,采用干法刻蝕,形成深溝槽,該深溝槽的深度為1~150微米。

6.如權利要求1所述的方法,其特征在于:所述步驟(4)中,采用濕法刻蝕,將硬質掩膜板向兩側分別刻蝕500~1000A左右。

7.如權利要求1所述的方法,其特征在于:所述步驟(5)中,采用干法刻蝕,將深溝槽頂部尖角去除。

8.如權利要求1所述的方法,其特征在于:所述步驟(6)中,采用濕法刻蝕,將硅基板上面的硬質掩膜板去除。

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