[發明專利]一種多電極束流聚焦調節裝置

無效

• 申請號: 201110390385.3
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN103137407A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 張繼恒
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/21
• 分類號: H01J37/21
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種多電極束流聚焦調節裝置，尤其的涉及離子注入機，屬于半導體器件制造設備領域。

背景技術

在半導體制造工藝設備離子注入機中，離子束從離子源引出后，由于離子間相互電荷力的作用機離子初始運動方向的不同，導致離子束在傳輸過程中會發生發散，為了使最終打在靶上的離子束流滿足生產的要求，需要對離子束進行聚焦。

本專利所涉及的寬帶束離子束流寬度超過了300mm，為了滿足這么大寬度的束流中離子運動方向的一致性及束流大小的均勻性，本專利設計了一種多電極束流聚焦調節裝置，能夠對寬帶離子束流經過的空間電場強度分布進行調節，改變離子運動的方向，調整寬帶離子束流分布的均勻性。

發明內容

本發明即是針對上述要求而提出的一種結構簡單、可靠性高的多電極束流聚焦調節裝置。

本發明的技術方案是通過改變離子束傳輸路徑空間的電場分布，對寬帶離子束在空間不同位置的離子產生不同大小和方向的電場力，從而改變離子束中不同位置的離子運動的偏轉方向，達到調節離子束束流徑向分布均勻性的目的。

本發明中上電極組(2)、下電極組(3)中的每個電極和左電極(4)及右電極(5)分別連接程控數字電源(6)的一個電壓輸出端相連接。控制程控數字電源(6)每個電壓輸出端的電壓大小，即可改變絕緣腔體(1)各個位置的電場場強大小及方向。

本發明具有如下顯著優點：

1.通過改變離子束傳輸路徑空間的電場場強大小及方向來調節束流均勻性，使得整個裝置結構簡單，調節方便。

2.上電極組(2)、下電極組(3)中的每個電極和左電極(4)及右電極(5)分別連接程控數字電源(6)的一個電壓輸出端子相連接，各個電極的電壓可以單獨調節，使得空間各個局部區域的電場改變靈活，能滿足不同束流分布的調節。

附圖說明

圖1為多電極束流聚焦調節裝置的示意圖；

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步的介紹，但不作為對本發明的限定。

如圖1所示的一種一種多電極束流聚焦調節裝置，包括：絕緣腔體(1)、上電極組(2)、下電極組(3)、左電極(4)、右電極(5)、程控數字電源(6)。其特征在于上電極組(2)和下電極組(3)兩排電極一一相對，均勻安裝在絕緣腔體(1)上，上電極組(2)、下電極組(3)中的每個電極和左電極(4)及右電極(5)分別通過導線和程控數字電源(6)的一個電壓輸出端子連接。

調節程控數字電源(6)各個電壓輸出端子的電壓即改變每個電極上的電壓大小，導致絕緣腔體(1)內空間中電場的分布發生變化，從而改變經過絕緣腔體(1)的寬帶離子束各個位置的離子運動的偏轉方向，達到調節離子束束流徑向分布均勻性的目的。

以上所述已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。