[發明專利]一種多電極束流聚焦調節裝置無效
| 申請號： | 201110390385.3 | 申請日： | 2011-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN103137407A | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 張繼恒 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/21 | 分類號： | H01J37/21 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市中關村科*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電極 聚焦 調節 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.本發明提供一種多電極束流聚焦調節裝置，包括：絕緣腔體(1)、上電極組(2)、下電極組(3)、左電極(4)、右電極(5)、程控數字電源(6)。
2.權利1中所述的上電極組(2)、下電極組(3)、左電極(4)、右電極(5)安裝固定在絕緣腔體(1)上。
3.權利2中所述的上電極組(2)和下電極組(3)兩排電極一一相對，均勻排列安裝在絕緣腔體(1)上。
4.權利1中所述的上電極組(2)、下電極組(3)、左電極(4)、右電極(5)中的每個電極分別和程控數字電源(6)的各個電壓輸出端子相連接。
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