[發(fā)明專利]一種多只BGA貼裝的對(duì)位系統(tǒng)無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110378525.5 | 申請(qǐng)日: | 2011-11-24 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103137530A | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 梁荷巖;張國(guó)琦 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 西安中科麥特電子技術(shù)設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/68 | 分類號(hào): | H01L21/68 |
| 代理公司: | 西安西達(dá)專利代理有限責(zé)任公司 61202 | 代理人: | 郭秋梅 |
| 地址: | 710119 陜西省西*** | 國(guó)省代碼: | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 bga 對(duì)位 系統(tǒng) | ||
1.一種多只BGA貼裝的對(duì)位系統(tǒng),包括有對(duì)位控制系統(tǒng)(1),其特征在于,對(duì)位控制系統(tǒng)(1)的汽缸氣缸控制端與相連,汽缸控制器(2)與汽缸(3)相連,汽缸(3)與吸嘴(4)相連;對(duì)位控制系統(tǒng)(1)的滑軌控制端連接有第一電機(jī)(5),第一電機(jī)(5)與滑軌(6)相連,對(duì)位控制系統(tǒng)(1)的導(dǎo)桿控制端與第二電機(jī)(7)相連,第二電機(jī)(7)與導(dǎo)桿(8)相連,滑軌(6)、導(dǎo)桿(8)與吸嘴(4)相連;對(duì)位控制系統(tǒng)(1)對(duì)準(zhǔn)儀端連接有第三電機(jī)(9),第三電機(jī)(9)與光學(xué)對(duì)準(zhǔn)儀器(10)相連。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





