[發(fā)明專(zhuān)利]3D集成電路中TSV的中點(diǎn)定位方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110376662.5
• 申請(qǐng)日: 2011-11-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102542096A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯立剛;汪金輝;白澍;彭曉宏;耿淑琴
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G06F17/50
• 分類(lèi)號(hào): G06F17/50;H01L27/02
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 魏聿珠

1.3D集成電路中TSV的中點(diǎn)定位方法，其特征在于：其包括如下步驟：

a、分別確定出水平方向上兩層芯片需要互聯(lián)的單元所組成的范圍矩形；確定范圍矩形的方法為：分別以版圖的上下兩層芯片邊緣建立水平直角坐標(biāo)系，將所有單元以坐標(biāo)定位，計(jì)算出每一個(gè)線(xiàn)網(wǎng)中所有單元在橫坐標(biāo)方向和橫縱坐標(biāo)方向上的最大和最小值，以這四個(gè)邊緣值確定線(xiàn)網(wǎng)的范圍矩形；

b、得到范圍區(qū)域的坐標(biāo)后，將兩范圍矩形區(qū)域投影到水平面上，利用范圍矩形的四個(gè)頂角的坐標(biāo)，計(jì)算出兩個(gè)范圍矩形的幾何中心；將兩個(gè)范圍區(qū)域的幾何中心連接，得到兩中心的連線(xiàn)；計(jì)算出所述中心的連線(xiàn)的中點(diǎn)的坐標(biāo)，以該坐標(biāo)定為T(mén)SV的坐標(biāo)。