[發明專利]一種制造平板顯示裝置的設備和方法

有效

• 申請號: 201110365333.0
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN102569127A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 金容一;方政鎬;洪基相
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;鐘強

本申請要求2010年11月12日在韓國提交的韓國專利申請第10-2010-0112694號的權益，在此引用該申請作為參考，如同該申請在此被完全闡述一樣。

技術領域

本發明涉及一種制造平板顯示裝置的設備，更具體地，涉及一種制造平板顯示裝置的設備和方法。雖然本發明適用于范圍廣泛的應用，但尤其適用于通過在制造平板顯示裝置的過程中減少次品率來形成具有精確厚度和寬度的透明薄膜或圖案。

背景技術

如今，主要使用輕薄的平板顯示器作為個人電腦、移動終端的顯示器、各種信息設備的顯示裝置等等。這種平板顯示器可包括液晶顯示器(LCD)、發光顯示器、等離子顯示面板、場發射顯示器等中的一種。

尤其是，主要使用有機場發光器件作為發光顯示器。在這種情況下，有機場發光器件由第一電極、第二電極和第一和第二電極之間的有機薄膜層構成。這種發光顯示器通過控制有機發光器件的發光量來顯示圖像。

在液晶顯示器的情況下，液晶顯示面板由一對貼附在一起的基板和注入到該對基板之間的液晶層構成，該對基板之間具有預定間隔。在這種情況下，多個像素區域被柵線和數據線限定為矩陣形式。通過調節透過每個像素區域的光透射率，可以顯示圖像。

為了制造上述平板顯示裝置，有必要在至少一個基板上形成包括各種圖案的金屬薄膜、電極等等。尤其是，通過光刻工藝形成各種圖案、電極、金屬薄膜等。

光刻工藝由下列工序構成：清洗基板，在清洗后的基板上形成光刻膠或各種導電金屬層，使用光掩模曝光所述光刻膠或導電金屬層，顯影曝光后的光刻膠或金屬層等。

然而，根據現有光刻工藝，難以調整在形成具有高光透射率的透明電極或薄膜時的曝光量。例如，當薄膜或圖案由例如ITO(氧化銦錫)、IZO(氧化銦鋅)，AXO(鋁摻雜氧化鋅)等透明導電金屬形成時，施加于基板的光透過透明金屬層和基板，從曝光裝置反射，然后又照射回基板和透明金屬層。因此，很難控制曝光量。所以，根據現有技術，通過減少透明圖案或電極的寬度或厚度來精確制造透明圖案或電極受到了很大的限制，而且，現有光刻工藝具有較高的次品率和較低的生產效率。

發明內容

因此，本發明涉及一種制造平板顯示裝置的設備和方法，其基本避免了由于現有技術的限制和缺點造成的一個或多個問題。

本發明的目的是提供一種制造平板顯示裝置的設備和方法，通過該設備和方法，在平板顯示裝置制造過程中由于更精確地控制了厚度和寬度，可以降低形成透明薄膜或圖案時的次品率。

在隨后的描述中將列出本發明的其它特征和優點，通過這些描述，一部分特征和優點對本領域技術人員將是顯而易見的，或者可以通過本發明的實踐學習到。通過在文字說明書和其權利要求還有附圖中具體指出的結構，可以實現和達到本發明的這些和其它優點。

為了實現這些和其它優點并根據本發明的目，如在本文中具體性和概括性描述的，一種用于制造平板顯示裝置的設備可以包括：裝載/卸載單元，用于移動基板至或自外部來源；涂覆生產線，用于在基板上形成透明導電金屬層；黑化生產線，用于黑化所述透明導電金屬層；曝光生產線，用于曝光黑化金屬層；顯影生產線，用于接收具有黑化金屬層的曝光基板，并對接收的基板進行顯影處理；以及退火生產線，用于對黑化金屬層進行退火處理，以恢復金屬層的透明度。

優選的是，通過采用等離子體化學氣相沉積或等離子體源對透明導電金屬層執行氫等離子體處理，黑化生產線可黑化透明導電金屬層或降低導電金屬層的透明度。

更優選的是，曝光生產線將光掩模排列為與黑化金屬層上想要的圖案對應，所述黑化金屬層由于黑化處理而具有低透光率，并且曝光生產線可對包括該光掩模的基板的整個表面施加UV線。

在這種情況下，退火生產線可例如在20至150攝氏度的溫度使用硬烤熱板硬化上面形成了黑化金屬層圖案的基板，以自黑化金屬層恢復金屬層的透明度。作為一種變型，在退火處理中使用的溫度可介于100至400攝氏度。

最好，該設備可進一步包括：清洗生產線，用于清潔來自裝載/卸載單元的基板以及把清潔后的基板提供給涂覆生產線；標注生產線，用于在曝光生產線所曝光的基板上形成識別碼，并向顯影生產線提供相應的基板；輸送生產線，用于傳送具有黑化金屬層的基板至曝光生產線，并傳送已經曝光的基板至標注生產線；和至少一個輸送裝載單元，可移動地提供在清洗生產線、涂覆生產線、標注生產線、顯影生產線和退火生產線中的至少兩個之間，用于將基板傳送到制造生產線中的每一個。