[發明專利]一種可調節磁靴的磁控濺射靶無效
| 申請號： | 201110362599.X | 申請日： | 2011-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN102352486A | 公開（公告）日： | 2012-02-15 |
| 發明（設計）人： | 鄒定嵩;周學卿 | 申請（專利權）人： | 東莞市潤華光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 523795 廣東省東莞*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調節 磁控濺射 | ||
【權利要求書】：
1.一種可調節磁靴的磁控濺射靶，包括有陰極座（5）、磁靴（1、2、3）、磁靴連接塊（4），磁靴（1、2、3）裝在陰極座（5）上，磁靴連接塊（4）連接著磁靴（1、2）以及磁靴（2、3），其特征在于：磁靴（1、2、3）分離三段并排，中間一段為可調節磁靴（2）。
2.根據權利要求1所述的一種可調節磁靴的磁控濺射靶，其特征在于：所述分段磁靴（1、2、3）上裝有分段磁鐵（6）、均勻磁條（7），磁靴（1、3）固定在陰極座上（5），磁靴連接塊（4）一端固定在磁靴（1、3）上、一端與磁靴（2）相連。
3.根據權利要求1所述的一種可調節磁靴的磁控濺射靶，其特征在于：所述磁靴（2）與磁靴連接塊（4）的連接處有螺孔（41）并裝有螺釘（42）。
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