[發明專利]一種適用于輕、薄片形元器件的提放吸嘴有效
| 申請號: | 201110361269.9 | 申請日: | 2011-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN102496594A | 公開(公告)日: | 2012-06-13 |
| 發明(設計)人: | 蔣李望 | 申請(專利權)人: | 揚州揚杰電子科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/68 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
| 地址: | 225008 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 適用于 薄片 元器件 提放吸嘴 | ||
1.一種適用于輕、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,包括柔性吸嘴、缸體、活塞、柔性推針和負壓源;所述柔性嘴座固定連接在缸體的下方;所述柔性吸嘴上開設有聯通所述缸體內腔的通孔;所述柔性推針設置在所述通孔內,所述柔性推針的長度大于所述通孔的長度,所述柔性推針的直徑小于所述通孔的直徑,所述柔性推針的頂端固定連接在所述活塞的底部;所述活塞的直徑小于所述缸體內腔的直徑;所述缸體的頂面設有聯通所述負壓源的氣孔;所述活塞的頂面上開設有至少一條使所述缸體內腔聯通所述氣孔的凹槽。
2.根據權利要求1所述的一種適用于輕、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述活塞的下端面與所述缸體的底面為面接觸。
3.根據權利要求1所述的一種適用于輕、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述所述缸體頂面的氣孔設在所述缸體頂面的中心位置,所述活塞上的凹槽在活塞頂面上呈十字形。
4.根據權利要求1所述的一種適用于輕、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述柔性吸嘴通過設有中孔的吸嘴座與所述缸體相連,所述吸嘴座固定連接在缸體的下部,所述吸嘴固定連接在吸嘴座的下部,所述吸嘴座中孔的直徑大于所述柔性推針的直徑。
5.根據權利要求1-4中任一所述的一種適用于輕、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述柔性吸嘴的底面面積小于所述輕、薄片形元器件的頂面面積。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





