[發明專利]一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統

有效

• 申請號: 201110357973.7
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN103104439A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 張振厚;王光玉;孔祥玲
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04B39/10
• 分類號: F04B39/10;F04B39/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

技術領域

本發明屬于真空泵領域，具體地說是一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統。

背景技術

向多級干式真空泵內通入干燥氣體，有利于真空泵級間可凝性氣體的排出，也有利于被抽取的粉塵介質的排出，不在泵內死角殘留和堆積。

目前多級干式真空泵的氣路系統，多數由質量流量計或浮子流量計測量流量，并且氣路的多路輸出只能按唯一的流量比例，不能改變。這樣的氣路系統占用空間大，并且流量輸出比例不能變化，如果使用浮子流量計，其流量顯示數值只能通過觀察得出，不能進行數據采集，如果多級干式真空泵使用的場合需要調整流量數值，只能更換氣路系統。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統。該氣路分配系統可以實現氣體流量的檢測，出氣端氣體能夠以不同流量比例輸出。

本發明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發明包括集成模塊、孔板、銷及壓力傳感器，其中集成模塊內分別開有進氣通道及出氣通道，進氣通道與出氣通道通過位于兩者之間的孔板相連通；所述出氣通道內插設有可轉動的銷，銷位于出氣通道內的部分開有多個通孔；所述集成模塊的進氣端及出氣端分別設有與進氣通道連通的進氣口及與出氣通道連通的出氣口，所述壓力傳感器分別安裝在集成模塊的進氣端及出氣端，分別測量所述孔板兩側的氣體流量。

其中：所述集成模塊出氣端的出氣口為多個，銷上的通孔沿軸向設有多排，每排通孔對應一個出氣口；所述出氣通道為集成模塊上開設的盲孔，出氣通道的開口端位于集成模塊的一側壁上，另一端通過孔板與進氣通道相連通；所述銷的內部開有與出氣通道連通的盲孔，銷的一端為所述盲孔的開口端、位于出氣通道內，另一端與集成模塊密封連接；所述銷上的通孔均開設在與所述盲孔對應的管壁上；所述銷與出氣通道過渡配合；所述進氣通道的徑向截面為圓形，一端通過孔板與出氣通道連通，另一端為封閉端；所述孔板的孔徑分別小于進氣通道及出氣通道的直徑。

本發明的優點與積極效果為：

1.本發明通過銷的旋轉，以不同孔徑的通孔與出氣口對接，不用更換氣路即可實現各輸出管路間不同流量比例的氣體輸出。

2.本發明采用壓力傳感器測量流經孔板兩側的氣體壓力，直接進行數據采集，便于觀察。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為圖1中的A-A剖視圖；

其中：1為集成模塊，2為進氣口，3為出氣口，4為孔板，5為銷，6為密封膠圈，7為通孔，8為出氣通道，9為壓力傳感器，10為進氣通道。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳述。

如圖1、圖2所示，本發明包括集成模塊1、孔板4、銷5及壓力傳感器9，其中集成模塊1為塊狀(本實施例為長方體)，集成模塊1的一端為進氣端，另一端為出氣端；在集成模塊1的內部分別開有進氣通道10及出氣通道8，在進氣通道10與出氣通道8之間設有孔板4，該孔板4的孔徑分別小于進氣通道10與出氣通道8的直徑，進氣通道10與出氣通道8通過位于兩者之間的孔板4相連通；進氣通道10及出氣通道8的徑向截面均為圓形，進氣通道10的一端通過孔板4與出氣通道8的一端相連通，進氣通道10的另一端為封閉端；出氣通道8為集成模塊1上開設的盲孔，出氣通道8的開口端位于集成模塊1的一側壁上，另一端通過孔板4與進氣通道10相連通。

在出氣通道8內插設有可轉動的銷5，銷5與出氣通道8過渡配合。銷5的內部開有與出氣通道8連通的盲孔，銷5的一端為所述盲孔的開口端、位于出氣通道8內、靠近所述出氣通道8的另一端，銷5的另一端與集成模塊1的側壁抵接，且通過密封膠圈6與出氣通道8的內壁密封連接。銷5內部盲孔的管壁上開有多個通孔7，通孔7的設置為沿軸向采用等分的方式設置多排，每一排圓周均布。集成模塊1的進氣端設有與進氣通道10連通的進氣口2，本實施例的進氣口2為一個；集成模塊1的出氣端設有與出氣通道8連通的出氣口3，出氣口3可為多個，每個一出氣口3均對應銷5上的一排通孔，出氣口3通過通孔與銷5內部的盲孔相連通；通孔的大小根據要求設定。在集成模塊1的進氣端及出氣端分別安裝有壓力傳感器9，兩個壓力傳感器9分別位于孔板4的兩側，使用壓差式方法測量孔板4兩側的氣體壓力，可計算得出流經的氣體流量。

本發明的工作原理為：

氣體由進氣口2進入到進氣通道10內，經孔板4流到出氣通道8內，再經過銷5上的通孔7由各出氣口3排出。在排氣的過程中，旋轉銷5，不同孔徑的通孔7會與各出氣口3相接，實現各輸出管路間不同流量比例的氣體輸出。