[發(fā)明專利]一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110357973.7
• 申請日: 2011-11-11
• 公開（公告）號: CN103104439A
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張振厚;王光玉;孔祥玲
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
• 主分類號: F04B39/10
• 分類號: F04B39/10;F04B39/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：包括集成模塊(1)、孔板(4)、銷(5)及壓力傳感器(9)，其中集成模塊(1)內(nèi)分別開有進氣通道(10)及出氣通道(8)，進氣通道(10)與出氣通道(8)通過位于兩者之間的孔板(4)相連通；所述出氣通道(8)內(nèi)插設(shè)有可轉(zhuǎn)動的銷(5)，銷(5)位于出氣通道(8)內(nèi)的部分開有多個通孔(7)；所述集成模塊(1)的進氣端及出氣端分別設(shè)有與進氣通道(10)連通的進氣口(2)及與出氣通道(8)連通的出氣口(3)，所述壓力傳感器(9)分別安裝在集成模塊(1)的進氣端及出氣端，分別測量所述孔板(4)兩側(cè)的氣體流量。

2.按權(quán)利要求1所述用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：所述集成模塊(1)出氣端的出氣口(3)為多個，銷(5)上的通孔(7)沿軸向設(shè)有多排，每排通孔對應(yīng)一個出氣口(3)。

3.按權(quán)利要求1或2所述用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：所述出氣通道(8)為集成模塊(1)上開設(shè)的盲孔，出氣通道(8)的開口端位于集成模塊(1)的一側(cè)壁上，另一端通過孔板(4)與進氣通道(10)相連通。

4.按權(quán)利要求1或2所述用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：所述銷(5)的內(nèi)部開有與出氣通道(8)連通的盲孔，銷(5)的一端為所述盲孔的開口端、位于出氣通道(8)內(nèi)，另一端與集成模塊(1)密封連接；所述銷(5)上的通孔(7)均開設(shè)在與所述盲孔對應(yīng)的管壁上。

5.按權(quán)利要求4所述用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：所述銷(5)與出氣通道(8)過渡配合。

6.按權(quán)利要求1或2所述用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：所述進氣通道(10)的徑向截面為圓形，一端通過孔板(4)與出氣通道(8)連通，另一端為封閉端。

7.按權(quán)利要求1或2所述用于多級干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于：所述孔板(4)的孔徑分別小于進氣通道(10)及出氣通道(8)的直徑。